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硅微尖的场发射电子能谱

摘要第1-3页
Abstract第3-6页
第一章 引言第6-17页
   ·阴极射线管显示第6-7页
   ·平板显示(Flat Panel Display: FPD)第7-11页
     ·液晶显示第8页
     ·等离子显示第8-9页
     ·有机电致发光显示第9页
     ·发光二极管第9-10页
     ·场发射显示第10-11页
   ·场发射的发展历史第11-15页
   ·场发射能谱研究的意义第15-16页
   ·本论文的研究内容第16-17页
第二章 场发射能谱理论第17-35页
   ·Fowler-Nordheim 理论第17-22页
   ·金属的场发射电子能谱第22-25页
   ·半导体的场发射第25-27页
   ·场发射电子能谱的测量第27-35页
     ·场发射电子轨迹与能谱第27-29页
     ·能谱分析仪发展史第29-32页
     ·实验能谱仪第32-35页
第三章 建模第35-45页
   ·有限元方法第35-37页
     ·有限元方法概述第35页
     ·有限元方法的特性第35-36页
     ·有限元方法的分析过程第36-37页
   ·二维拉普拉斯方程解法第37-41页
     ·单元的划分第38-39页
     ·建立单元上的线性插值函数第39页
     ·单元分析第39-40页
     ·总体合成第40-41页
   ·建模第41-45页
     ·实验样品结构第41-42页
     ·计算模型第42-45页
第四章 硅微尖的场发射电子能谱第45-56页
   ·金属的场发射电子能谱计算第45-46页
     ·电场强度分布第45-46页
   ·半导体能带弯曲理论第46-49页
     ·外电场对半导体能带及载流子浓度的影响第46-48页
     ·能带弯曲量的计算第48-49页
   ·硅的场发射电子能谱计算第49-56页
     ·影响能带弯曲的因素第49-50页
     ·金属的场发射电子能谱第50页
     ·相对介电常数的确定第50-51页
     ·温度的影响第51-52页
     ·掺杂浓度的影响第52-53页
     ·硅的场发射电子能谱分析第53-56页
第五章 总结第56-57页
参考文献第57-60页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第60-61页
致谢第61页

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