激光微加工过程中等离子体的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-17页 |
| ·课题背景 | 第14-15页 |
| ·研究主要内容 | 第15-16页 |
| ·文章结构 | 第16-17页 |
| 第二章 文献综述 | 第17-24页 |
| ·等离子体研究现状分析 | 第17-20页 |
| ·激光等离子体概述 | 第17-18页 |
| ·国内外激光等离子体研究现状 | 第18-19页 |
| ·等离子体诊断方法 | 第19-20页 |
| ·激光微加工 | 第20-23页 |
| ·MEMS技术 | 第20-21页 |
| ·脉冲激光在MEMS中的应用 | 第21页 |
| ·激光加工微通道 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 基础理论 | 第24-35页 |
| ·等离子体基础知识介绍 | 第24-27页 |
| ·电磁波与等离子体相互作用 | 第27-34页 |
| ·电磁波在等离子体中的传播 | 第27-30页 |
| ·等离子体对激光传输的影响 | 第30页 |
| ·等离子体对激光的吸收 | 第30-32页 |
| ·反射、散射 | 第32-33页 |
| ·等离子体对激光的负透镜效应 | 第33页 |
| ·激光束的离焦量 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 实验系统 | 第35-40页 |
| ·激光打标机 | 第35-36页 |
| ·检测设备 | 第36-39页 |
| ·光谱仪 | 第36-37页 |
| ·CCD | 第37页 |
| ·XSP-BM-13三目生物显微镜 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 激光诱导等离子体的产生 | 第40-43页 |
| ·激光诱导等离子体 | 第40-41页 |
| ·激光束的聚焦 | 第40-41页 |
| ·激光与材料相互作用的能量传递与转化 | 第41页 |
| ·激光等离子体 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第六章 加工微通道过程中等离子体的光谱和影像分析 | 第43-54页 |
| ·激光诱导石英等离子体光谱特性研究 | 第43-47页 |
| ·实验设计 | 第43-44页 |
| ·等离子体发射光谱分析 | 第44页 |
| ·等离子体平均温度估算 | 第44-45页 |
| ·估算电子密度 | 第45-47页 |
| ·等离子体动态过程分析 | 第47-52页 |
| ·实验背景 | 第47-48页 |
| ·试验方法 | 第48页 |
| ·动态分析 | 第48-50页 |
| ·等离子体运动速度与等离子态刻蚀速度的讨论 | 第50-51页 |
| ·等离子体存在条件讨论 | 第51-52页 |
| ·讨论 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第七章 提高激光加工通道长度方法探讨 | 第54-60页 |
| ·等离子体与微波相互作用 | 第54-56页 |
| ·微波激发等离子体 | 第54-56页 |
| ·趋肤深度 | 第56页 |
| ·微波法辅助加工微通道 | 第56页 |
| ·磁场法控制等离子体形状 | 第56-59页 |
| ·色散关系 | 第57页 |
| ·带电粒子在磁场中的运动讨论 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第八章 结论和展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简介 | 第66-67页 |
| 硕士研究生期间发表论文情况 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68页 |
