| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图表索引 | 第9-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-15页 |
| ·本章主要内容 | 第11页 |
| ·激光加工技术概述 | 第11-12页 |
| ·激光产业发展现状 | 第12-13页 |
| ·国外激光产业发展现状 | 第12页 |
| ·我国激光产业发展现状 | 第12-13页 |
| ·激光调阻机研究的意义 | 第13-14页 |
| ·论文的研究工作内容 | 第14-15页 |
| 第二章 激光调阻机原理及设计 | 第15-34页 |
| ·本章主要内容 | 第15页 |
| ·厚薄膜电阻微调方法及其原理 | 第15-20页 |
| ·喷砂微调 | 第17页 |
| ·脉冲电压微调 | 第17-18页 |
| ·激光微调 | 第18页 |
| ·薄膜电阻激光微调的理论模型 | 第18-20页 |
| ·激光微调的特点 | 第20页 |
| ·激光调阻机的构成及设计 | 第20-31页 |
| ·光源系统 | 第21-23页 |
| ·光学扫描系统 | 第23-27页 |
| ·监视系统 | 第27页 |
| ·光学系统装调技术要求 | 第27-31页 |
| ·机械系统 | 第31-32页 |
| ·检测与控制系统 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 激光调阻机调阻精度的影响因素分析 | 第34-47页 |
| ·本章主要内容 | 第34页 |
| ·实际生产中电阻微调的基本状况 | 第34-36页 |
| ·电阻的几何形状与切口的几何图形 | 第34-35页 |
| ·实际工作中计算电阻的公式 | 第35-36页 |
| ·影响刻痕质量和调阻精度的因素分析 | 第36-46页 |
| ·扫描振镜镜片的安装及特性因素对调阻的影响 | 第36-38页 |
| ·工艺参数对调阻精度的影响 | 第38-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章激光调阻工艺参数对激光调阻精度影响的数据分析 | 第47-52页 |
| ·主要内容 | 第47页 |
| ·激光功率、调Ｑ频率、光斑重叠率和调阻速度之间的关系. | 第47-48页 |
| ·实验验证激光功率、调Ｑ频率、光斑重叠率和调阻速度之间的关系 | 第48-50页 |
| ·激光调阻工艺参数选择的应用 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 简历 | 第57-58页 |
