柱面镜装校技术与绝对检验研究
中文摘要 | 第1-6页 |
英文摘要 | 第6-9页 |
1 绪论 | 第9-12页 |
·课题的研究背景 | 第9-10页 |
·本论文的主要工作 | 第10-12页 |
2 柱面绝对检验技术 | 第12-27页 |
·柱面检测的几种方法 | 第12-14页 |
·计算全息干涉测量法 | 第12-13页 |
·预先标定法 | 第13-14页 |
·三柱面互检技术 | 第14页 |
·带空心直角棱镜的柱面绝对检验方法 | 第14-18页 |
·波面(面形)多项式表达下的奇偶对称性 | 第15页 |
·柱面绝对检验原理 | 第15-18页 |
·多干涉图的组合测试 | 第18-26页 |
·单干涉波面的移相法测量 | 第18-20页 |
·多干涉图的空间一致性要求 | 第20-21页 |
·利用移相干涉图的空间位置自动识别 | 第21-24页 |
·非圆域干涉图的数字化旋转 | 第24-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
3 柱面镜组的研制 | 第27-45页 |
·柱面镜组的光学设计 | 第27-31页 |
·波像差概念 | 第27-28页 |
·光学系统的质量评价 | 第28页 |
·光学设计软件介绍:ZEMAX | 第28-29页 |
·柱面镜组的构建、评价 | 第29-31页 |
·柱面镜组的结构设计 | 第31-32页 |
·柱面镜组计算机辅助装校 | 第32-44页 |
·辅助装调中的寻优模型的建立 | 第32-35页 |
·辅助装调中的优化算法的探讨 | 第35-40页 |
·柱面镜组的辅助装校 | 第40-44页 |
·本章小结 | 第44-45页 |
4 实验系统 | 第45-52页 |
·柱面镜波差检测系统 | 第45-47页 |
·移相式斐索干涉仪系统 | 第45页 |
·柱面绝对检验测试系统 | 第45-47页 |
·空心直角棱镜 | 第47-49页 |
·调整机构 | 第49-50页 |
·柱面绝对检验的软件系统 | 第50-51页 |
·柱面绝对检验软件系统的设计要求 | 第50-51页 |
·柱面绝对检验软件系统的界面 | 第51页 |
·本章小结 | 第51-52页 |
5 实验过程与结果 | 第52-62页 |
·实验过程 | 第52-55页 |
·辅助装较实验结果 | 第55-58页 |
·空心直角棱镜测试 | 第58-59页 |
·空心直角棱镜反射面面形测试 | 第58-59页 |
·空心直角棱镜角度误差的修正参数 | 第59页 |
·柱面镜测试 | 第59-61页 |
·柱面绝对检验测试(对被测柱面的测试) | 第59-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
6 全文总结 | 第62-63页 |
·本文的主要工作 | 第62页 |
·需要改进的地方和有待解决的问题 | 第62-63页 |
致谢 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-67页 |
附录A | 第67页 |