| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研制意义 | 第8-10页 |
| ·国内外目前研制状况 | 第10-11页 |
| ·国外目前研制状况 | 第10页 |
| ·国内目前研制状况 | 第10-11页 |
| ·研究的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 工作原理分析 | 第13-42页 |
| ·光耦合原理 | 第15-30页 |
| ·光纤/自由空间/光纤(光波导/自由空间/光波导)光耦合 | 第16-21页 |
| ·利用准直透镜的光纤光耦合 | 第21-27页 |
| ·微型平面反射镜对光耦合的影响 | 第27-30页 |
| ·静电驱动器工作原理 | 第30-42页 |
| ·线位移对称梳齿电容驱动器 | 第32-36页 |
| ·双轴旋转角位移平板电容静电驱动器 | 第36-42页 |
| 第三章 工艺设计 | 第42-50页 |
| ·静电驱动MEMS光开关对加工工艺的要求 | 第42-44页 |
| ·工艺设计 | 第44-50页 |
| ·拉伸式梳齿静电驱动2DMEMS光开关体硅工艺简介 | 第44-45页 |
| ·二次短时浓硼正面体硅工艺 | 第45-46页 |
| ·垂直的(100)晶面单晶硅微平面反射镜体硅制作方法 | 第46-50页 |
| 第四章 结构设计及优化仿真 | 第50-66页 |
| ·2D静电驱动MEMS光开关的设计 | 第50-64页 |
| ·3D静电驱动MEMS光开关的设计 | 第64-66页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第66-76页 |
| ·二次短时浓硼正面体硅工艺实验结果 | 第66-67页 |
| ·工艺结构机械特性 | 第66-67页 |
| ·工艺结构电学特性 | 第67页 |
| ·2D MEMS光开关的机电特性 | 第67-69页 |
| ·2D MEMS光开关光路结构特点及其光耦合特性 | 第69-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-81页 |
