| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-35页 |
| ·前言 | 第11-12页 |
| ·温差电材料概述 | 第12-15页 |
| ·温差电材料的热电效应 | 第13-14页 |
| ·温差电材料热电性能的表征 | 第14-15页 |
| ·温差电材料的组成 | 第15-17页 |
| ·温差电材料的制备方法研究 | 第17-22页 |
| ·块状温差电材料的制备研究 | 第17-18页 |
| ·薄膜温差电材料的制备研究 | 第18-19页 |
| ·低维温差电材料的制备研究 | 第19-22页 |
| ·温差发电器 | 第22-29页 |
| ·温差电偶 | 第22-28页 |
| ·温差发电器的结构 | 第28-29页 |
| ·微型温差发电器的研究状况 | 第29-33页 |
| ·微型温差发电器的结构 | 第30-32页 |
| ·微型温差发电器的制备工艺 | 第32-33页 |
| ·本论文研究目的与研究内容 | 第33-35页 |
| ·研究目的 | 第33-34页 |
| ·研究内容 | 第34-35页 |
| 第二章 铋碲化合物的沉积机理研究 | 第35-60页 |
| ·前言 | 第35页 |
| ·实验方法 | 第35-37页 |
| ·电化学沉积及测试 | 第35-36页 |
| ·金片前处理过程 | 第36-37页 |
| ·溶液体系组成 | 第37页 |
| ·沉积物组成、结构和形貌分析 | 第37页 |
| ·材料赛贝克系数测试 | 第37页 |
| ·纯铋和纯碲溶液的电化学行为研究 | 第37-43页 |
| ·纯铋和纯碲溶液的循环伏安和线性电位扫描分析 | 第37-41页 |
| ·纯铋和纯碲溶液的计时电流法分析 | 第41-42页 |
| ·纯铋和纯碲溶液的电化学交流阻抗分析 | 第42-43页 |
| ·铋碲混合溶液的电化学行为分析 | 第43-53页 |
| ·mMHTeO~(2+) 和1mMBi~(3+) 溶液体系中的电化学行为分析 | 第43-46页 |
| ·mMHTeO~(2+) 和10mMBi~(3+) 溶液体系中的电化学行为分析 | 第46-49页 |
| ·mMHTeO~(2+) 和10mMBi~(3+) 溶液体系中的电化学行为分析 | 第49-51页 |
| ·HTeO~(2+) 和Bi~(3+) 溶液体系中的电化学交流阻抗分析 | 第51-53页 |
| ·Bi~(3+) 和HTeO~(2+)混合溶液中存在的还原反应过程 | 第53-54页 |
| ·溶液配方的选择 | 第54-56页 |
| ·制备的薄膜碲化铋材料的形貌和性能 | 第56-58页 |
| ·本章小节 | 第58-60页 |
| 第三章 微区内电化学沉积薄膜Bi_2Te_3材料工艺研究 | 第60-73页 |
| ·前言 | 第60页 |
| ·实验方法 | 第60-64页 |
| ·电化学沉积及测试装置 | 第60页 |
| ·光刻工艺 | 第60-61页 |
| ·金片上微区图案的制作 | 第61-63页 |
| ·镀液体系及试样 | 第63页 |
| ·沉积物组成、结构和形貌分析 | 第63页 |
| ·温差电性能测试 | 第63-64页 |
| ·微区内铋碲化合物沉积过程的研究 | 第64-71页 |
| ·同一尺寸微区内不同铋碲溶液配方的极化曲线分析 | 第64页 |
| ·镀液配方的选择 | 第64-66页 |
| ·沉积电位对温差电材料形貌的影响 | 第66页 |
| ·沉积电位对温差电材料结构的影响 | 第66-68页 |
| ·不同微区尺寸对沉积过程的影响 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第四章 基于薄膜温差电材料的微型温差发电器的结构设计 | 第73-80页 |
| ·微型温差发电器的结构 | 第73-75页 |
| ·制备工艺路线设计 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 基于薄膜温差电材料的微型温差发电器 | 第80-91页 |
| ·实验方法 | 第80-82页 |
| ·实验所用设备 | 第80页 |
| ·实验所用感光胶的光刻工艺 | 第80页 |
| ·光刻工艺中用到的掩模板 | 第80-82页 |
| ·金属刻蚀工艺 | 第82页 |
| ·金属蒸镀工艺 | 第82页 |
| ·电镀Au 和PbSn 工艺 | 第82页 |
| ·微型温差发电器的制备过程 | 第82-88页 |
| ·基片的准备 | 第82-83页 |
| ·基片上构造导电层 | 第83-84页 |
| ·温差电单体基片的制备 | 第84-86页 |
| ·焊接单体基片的制备 | 第86页 |
| ·对焊 | 第86-88页 |
| ·微型温差发电器的性能 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第六章 氧化铝模板内电沉积制备Bi2Te3纳米线 | 第91-107页 |
| ·前言 | 第91页 |
| ·实验方法 | 第91-94页 |
| ·氧化铝多孔膜的制备工艺 | 第91-93页 |
| ·氧化铝膜纳米孔内电沉积Bi_2Te_3 | 第93页 |
| ·形貌、组成及结构分析 | 第93-94页 |
| ·热电性能分析 | 第94页 |
| ·氧化铝膜的制备研究 | 第94-97页 |
| ·有机添加剂对氧化铝膜结构的影响 | 第94-95页 |
| ·有机添加剂对氧化铝多孔膜力学性能的影响 | 第95-97页 |
| ·氧化铝模板内铋碲纳米线阵列的电沉积过程研究 | 第97-100页 |
| ·沉积电位对铋碲纳米线阵列电沉积过程的影响 | 第97-98页 |
| ·氧化铝模板厚度对铋碲纳米线阵列沉积过程的影响 | 第98-99页 |
| ·孔径对沉积过程的影响 | 第99页 |
| ·温度对沉积过程的影响 | 第99-100页 |
| ·铋碲纳米线阵列的形貌 | 第100-101页 |
| ·铋碲纳米线阵列温差电性能 | 第101-104页 |
| ·沉积电位对铋碲纳米线温差电性能的影响 | 第101-103页 |
| ·氧化铝模板厚度对铋碲纳米线温差电性能的影响 | 第103-104页 |
| ·电沉积条件对纳米线温差电材料阵列电阻的影响 | 第104-106页 |
| ·沉积电位的影响 | 第104-105页 |
| ·纳米孔孔径对电阻的影响 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第七章 基于纳米线温差电材料的微型温差发电器的结构及工艺流程设计 | 第107-114页 |
| ·前言 | 第107页 |
| ·器件的结构设计 | 第107-109页 |
| ·制备工艺路线设计 | 第109-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第八章 基于纳米线温差电材料的微型温差发电器的制备工艺研究 | 第114-118页 |
| ·前言 | 第114页 |
| ·实验方法 | 第114-115页 |
| ·实验所用设备 | 第114页 |
| ·实验所用感光胶的光刻工艺 | 第114页 |
| ·光刻工艺中用到的掩模板 | 第114页 |
| ·纳米孔内电沉积温差电材料 | 第114-115页 |
| ·微型温差发电器的制备过程 | 第115-117页 |
| ·氧化膜的准备 | 第115页 |
| ·氧化铝膜表面构造n 型微区 | 第115-116页 |
| ·微区内电沉积n 型温差电材料 | 第116页 |
| ·氧化铝膜表面构造p 型微区 | 第116页 |
| ·微区内电沉积p 型温差电材料 | 第116-117页 |
| ·存在问题的分析 | 第117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 第九章 全文总结 | 第118-123页 |
| 参考文献 | 第123-132页 |
| 攻读博士期间发表论文和科研情况 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133页 |
