| 摘要 | 第1-7页 |
| 1 前言 | 第7-28页 |
| 1．1 环境保护与太阳能利用 | 第7-8页 |
| 1．2 太阳电池与我国的光伏发电技术 | 第8-11页 |
| 1．3 晶体硅太阳电池的工作原理与工艺 | 第11-17页 |
| 1．3．1 工作原理 | 第11-15页 |
| 1．3．2 晶体硅太阳电池工艺 | 第15-17页 |
| 1．4 非平衡少数载流子寿命对太阳电池的影响与测试技术 | 第17-26页 |
| 1．4．1 非平衡少数载流子 | 第17-18页 |
| 1．4．2 少数载流子寿命 | 第18页 |
| 1．4．3 少数载流子寿命对太阳电池的影响 | 第18-19页 |
| 1．4．4 少数载流子寿命测试技术 | 第19-26页 |
| 1．5 本文的研究意义、创新点和研究内容 | 第26-28页 |
| 1．5．1 研究意义 | 第26页 |
| 1．5．2 研究的主要创新点 | 第26-27页 |
| 1．5．3 研究内容 | 第27-28页 |
| 2 少数载流子寿命测量 | 第28-38页 |
| 2．1 理论 | 第28-32页 |
| 2．1．1 少数载流子寿命 | 第28-31页 |
| 2．1．2 影响少数载流子寿命的因素 | 第31-32页 |
| 2．2 模型的建立 | 第32-36页 |
| 2．2．1 基区少数载流子寿命τ_n值的计算 | 第32-35页 |
| 2．2．2 Rs和 Rsh的测量 | 第35页 |
| 2．2．3 计算实际的 I_0值与基区少数载流子寿命τ_n | 第35-36页 |
| 2．3 实验备片要求 | 第36-38页 |
| 3 实验 | 第38-56页 |
| 3．1 硅片清洗及绒面腐蚀 | 第38-40页 |
| 3．2 p-n结的制备 | 第40-43页 |
| 3．3 氧化及表面钝化 | 第43-51页 |
| 3．3．1 氧化原理与方法 | 第43-46页 |
| 3．3．2 氧化膜厚的测量原理 | 第46-50页 |
| 3．3．3 不同钝化条件下氧化膜的厚度 | 第50-51页 |
| 3．4 镀减反射膜 | 第51-52页 |
| 3．5 制备电极 | 第52-54页 |
| 3．5．1 丝网印刷 | 第53页 |
| 3．5．2 电极材料的选择 | 第53-54页 |
| 3．5．3 电极的烧结 | 第54页 |
| 3．6 激光切割去周边 | 第54-55页 |
| 3．7 I-V特性测试 | 第55-56页 |
| 4 结果与讨论 | 第56-64页 |
| 4．1 结果 | 第56-62页 |
| 4．1．1 成品太阳电池 I-V测试得到的少数载流子寿命 | 第56-57页 |
| 4．1．2 工艺过程监控基区少数载流子寿命测量 | 第57-60页 |
| 4．1．3 开路电压衰减法与 I-V特性测试法测量结果对比 | 第60-61页 |
| 4．1．4 不同扩散条件和不同氧化条件少数载流子寿命测试结果 | 第61-62页 |
| 4．1．5 变光强条件少数载流子寿命结果 | 第62页 |
| 4．2 讨论及分析 | 第62-64页 |
| 4．2．1 讨论 | 第62-63页 |
| 4．2．2 影响测量结果因素 | 第63页 |
| 4．2．3 结论 | 第63-64页 |
| 5 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
