| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1. 绪论 | 第11-33页 |
| ·论文研究背景 | 第11-19页 |
| ·硅特性 | 第11-12页 |
| ·IC制造过程中的硅片加工技术 | 第12-13页 |
| ·硅片平整化加工 | 第13-17页 |
| ·硅片背面减薄加工 | 第17页 |
| ·超精密磨削技术在IC制造中的作用和重要性 | 第17-18页 |
| ·硅片超精密磨床的特点及其关键技术 | 第18-19页 |
| ·硅片磨床及其关键技术的研究现状和趋势 | 第19-30页 |
| ·硅片磨床的发展过程、现状和趋势 | 第19-24页 |
| ·超精密进给和伺服数控技术 | 第24-26页 |
| ·磨削面型控制技术 | 第26-28页 |
| ·磨削力在线测控技术 | 第28-30页 |
| ·国内硅片磨床的研究现状 | 第30-31页 |
| ·课题的提出和来源 | 第31-32页 |
| ·论文主要研究内容 | 第32-33页 |
| 2. 硅片磨床总体方案设计 | 第33-47页 |
| ·硅片磨床总体方案 | 第33-38页 |
| ·硅片磨床基本结构形式 | 第33-35页 |
| ·硅片磨床总体组成 | 第35-36页 |
| ·硅片磨床工作流程 | 第36-38页 |
| ·硅片磨床主要参数 | 第38页 |
| ·硅片磨削单元设计 | 第38-43页 |
| ·转台单元结构设计 | 第39-42页 |
| ·粗磨主轴和精磨主轴系统结构设计 | 第42-43页 |
| ·硅片处理单元设计 | 第43-44页 |
| ·片盒台和硅片定心装置 | 第43-44页 |
| ·硅片清洗和吸盘清洗装置 | 第44页 |
| ·硅片传输系统 | 第44页 |
| ·硅片磨床电气系统和液压系统设计 | 第44-46页 |
| ·电气系统设计 | 第44-45页 |
| ·液压系统设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 3. 磨床结构设计和动力学特性分析 | 第47-81页 |
| ·主要零件结构设计与分析 | 第47-58页 |
| ·床身结构分析 | 第48-50页 |
| ·转台结构分析 | 第50-53页 |
| ·立柱结构分析 | 第53-58页 |
| ·磨削单元结构分析 | 第58-63页 |
| ·磨削单元静力分析 | 第58-60页 |
| ·磨削单元模态分析 | 第60-61页 |
| ·磨削单元热变形分析 | 第61-63页 |
| ·进给系统设计 | 第63-80页 |
| ·进给系统动力学仿真 | 第64-67页 |
| ·进给伺服控制系统机电协同仿真 | 第67-76页 |
| ·进给系统性能测试实验 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 4. 硅片磨削面型控制技术 | 第81-102页 |
| ·双主轴三工位磨床主轴倾角调整方案 | 第81-84页 |
| ·主轴倾角调整装置的结构设计 | 第84-86页 |
| ·主轴倾角调整装置结构设计 | 第84-85页 |
| ·工件主轴倾角调整装置结构设计 | 第85-86页 |
| ·磨削面型控制装置调整方法 | 第86页 |
| ·磨削面型控制数学模型 | 第86-93页 |
| ·精磨位的磨削面型控制数学模型 | 第86-89页 |
| ·粗磨位的磨削面型控制数学模型 | 第89-91页 |
| ·硅片总厚度变化(TTV)计算 | 第91-92页 |
| ·磨削面型控制的数学模型求解 | 第92-93页 |
| ·面型控制系统验证试验 | 第93-101页 |
| ·吸盘的修整面型验证实验 | 第93-97页 |
| ·硅片磨削面型验证实验 | 第97-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 5. 磨削力在线测量系统和控制力磨削试验 | 第102-124页 |
| ·磨削力分析和测量要求 | 第102-106页 |
| ·磨削力分析 | 第102-105页 |
| ·磨削力测量系统集成及性能要求 | 第105-106页 |
| ·磨削力在线测量系统设计 | 第106-109页 |
| ·磨削力在线测量系统组成 | 第106-107页 |
| ·磨削力测量装置设计 | 第107-108页 |
| ·磨削力数据采集和处理 | 第108-109页 |
| ·磨削力在线测量系统标定 | 第109-115页 |
| ·磨削力在线测量系统静态标定 | 第109-113页 |
| ·磨削力在线测量系统动态性能测定 | 第113-114页 |
| ·磨削力在线测量系统在线标定 | 第114-115页 |
| ·控制磨削力磨削试验 | 第115-123页 |
| ·控制力磨削方案 | 第116-119页 |
| ·控制力磨削实例 | 第119-123页 |
| ·本章小结 | 第123-124页 |
| 6. 结论 | 第124-126页 |
| ·展望 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-132页 |
| 附录A 前期硅片磨床设计方案 | 第132-135页 |
| 附录B 研制的φ300mm硅片超精密磨床与磨后硅片 | 第135-136页 |
| 附录C 国家有色金属及电子材料分析测试中心测试报告 | 第136-137页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和申请专利情况 | 第137-140页 |
| 创新点摘要 | 第140-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 作者简介 | 第142-143页 |