移相干涉术中波面计算方法以及移相器校正技术研究
| 绪论 | 第1-10页 |
| 1 课题的研究背景 | 第7-8页 |
| 2 项目来源 | 第8页 |
| 3 本论文的主要研究工作 | 第8-10页 |
| 1 移相干涉术介绍 | 第10-17页 |
| ·移相干涉测量原理 | 第10-12页 |
| ·实现相移方法的分类 | 第12-13页 |
| ·数字式波面干涉仪的实验装置介绍 | 第13-15页 |
| ·移相干涉仪的工作原理概述 | 第13页 |
| ·移相式数字斐索干涉仪实验装置 | 第13-14页 |
| ·干涉仪主机的光路原理图 | 第14-15页 |
| ·移相干涉技术误差来源 | 第15-16页 |
| ·移相误差 | 第15页 |
| ·激光光源的稳定性 | 第15-16页 |
| ·光学元件的质量 | 第16页 |
| ·环境误差 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 移相干涉术中相位解包算法的实现 | 第17-31页 |
| ·波面解包的理论分析 | 第17-19页 |
| ·波面解包原理 | 第17-18页 |
| ·连续和不连续相位场 | 第18-19页 |
| ·连续相位场的概念 | 第18页 |
| ·导致实际的相位场不连续的因素 | 第18-19页 |
| ·相位解包中的误差 | 第19页 |
| ·干涉图中的鬼线 | 第19页 |
| ·不连续相位场的解包 | 第19-22页 |
| ·包裹相位场的有效区域和无效区域 | 第19-20页 |
| ·有效区域和无效区域的概念 | 第20页 |
| ·不连续包裹相位场的有效区域和无效区域的确定方法 | 第20-21页 |
| ·有效区域数据中的噪声数据 | 第21页 |
| ·有效区域数据中噪声数据处理方法 | 第21-22页 |
| ·树形解包算法的实现 | 第22-28页 |
| ·算法的基本思想 | 第22页 |
| ·算法中涉及的有关概念介绍 | 第22-23页 |
| ·算法的具体实现依据 | 第23-27页 |
| ·算法的具体实现过程 | 第27-28页 |
| ·用算法解决移相干涉测量中的相位解包问题 | 第28-30页 |
| ·干涉图的采集 | 第28页 |
| ·实验数据和处理结果 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 采用虚光栅法获得静态干涉图的相位波面 | 第31-45页 |
| ·莫尔条纹概述 | 第31-32页 |
| ·虚光栅莫尔条纹法进行干涉图分析 | 第32-36页 |
| ·莫尔条纹法分析干涉图的理论基础 | 第32页 |
| ·空间线性载频的介绍 | 第32-33页 |
| ·通过带空间线性载频的干涉图得到莫尔条纹 | 第33-34页 |
| ·干涉图的傅立叶分析 | 第34-36页 |
| ·利用虚光栅莫尔条纹法和移相干涉术处理静态干涉图 | 第36-37页 |
| ·传统的从静态干涉图中提取特征信息的方法 | 第36页 |
| ·利用虚光栅莫尔条纹法和移相干涉术处理静态干涉图 | 第36-37页 |
| ·用虚光栅莫尔条纹法处理量块的干涉图 | 第37-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 4 移相干涉术中移相器的非线性校正研究 | 第45-53页 |
| ·压电陶瓷堆微位移特性 | 第45页 |
| ·压电陶瓷堆结构及其特性 | 第45-46页 |
| ·压电陶瓷堆结构 | 第45-46页 |
| ·无能量损耗时的位移特性 | 第46页 |
| ·移相干涉术中移相器的非线性分析 | 第46-47页 |
| ·解决PZT非线性误差的算法介绍 | 第47-52页 |
| ·算法设计 | 第47-49页 |
| ·程序设计流程 | 第49页 |
| ·计算结果和分析 | 第49-52页 |
| ·单个空间相位点的计算结果 | 第49-50页 |
| ·一个空间周期内取多个相位点的计算结果 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 移相干涉术中移相器的旋转研究 | 第53-64页 |
| ·由压电陶瓷(PZT)构成的移相器旋转问题的分析 | 第53-54页 |
| ·移相干涉术中类进动现象对移相算法引入的误差 | 第54-56页 |
| ·误差分析与误差控制 | 第55-56页 |
| ·移相器的类进动现象的仿真分析 | 第56-57页 |
| ·造成误差的因素分析 | 第57-59页 |
| ·旋转角度的影响 | 第58页 |
| ·测试孔径的大小的影响 | 第58-59页 |
| ·设计实验对移相干涉仪中的移相器进行分析处理 | 第59-63页 |
| ·用虚光栅莫尔条纹法计算相位波面 | 第60-61页 |
| ·对波面用最小二乘法进行平面拟合 | 第61页 |
| ·计算波面的法向量在空间的旋转情况 | 第61-62页 |
| ·实验数据 | 第62页 |
| ·结论和分析 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 全文总结 | 第64-66页 |
| ·本文的主要工作和创新点 | 第64-65页 |
| ·需要改进的地方和有待解决的问题 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录A 相位解包的实例 | 第72-73页 |
| 附录B 虚光栅莫尔条纹法处理空气扰动的实例 | 第73页 |
