薄膜厚度测量方法的研究与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| 前言 | 第5-6页 |
| 第一章 当前常用的薄膜厚度的光学测试方法 | 第6-20页 |
| ·激光干涉法 | 第6-8页 |
| ·激光透射法 | 第8-10页 |
| ·激光反射法 | 第10-12页 |
| ·应用白光光源的检测方法 | 第12-15页 |
| ·颜色色调检测法(用于测不均匀厚度) | 第13页 |
| ·分光光度测量法 | 第13-15页 |
| ·测量液膜厚度的检测方法 | 第15-19页 |
| ·透射法 | 第15页 |
| ·干涉法 | 第15-18页 |
| ·光谱比较法 | 第18-19页 |
| ·以上各种方法的分析与比较 | 第19-20页 |
| 第二章 激光衍射计量原理和计量技术 | 第20-36页 |
| ·激光衍射计量原理 | 第20-26页 |
| ·概述 | 第20页 |
| ·计量原理 | 第20-23页 |
| ·基本公式 | 第23-26页 |
| ·技术特点 | 第26页 |
| ·激光衍射计量技术 | 第26-36页 |
| ·基本方案及其分析 | 第26-31页 |
| ·间隙计量法 | 第31-36页 |
| 第三章 薄膜厚度测量装置的设计与实现 | 第36-47页 |
| ·实验装置的设计 | 第36-40页 |
| ·装置的基本用途 | 第36页 |
| ·实验光路设计 | 第36-37页 |
| ·元件的选择 | 第37-40页 |
| ·图像数据的处理 | 第40-47页 |
| ·面阵CCD的数据采集和预处理 | 第40-43页 |
| ·数据的处理 | 第43-47页 |
| 第四章 数据的测量与分析 | 第47-62页 |
| ·两种薄膜厚度的测量 | 第47-57页 |
| ·基本实验步骤 | 第47页 |
| ·两种薄膜厚度的测量 | 第47-56页 |
| ·影响测量结果的因素分析 | 第56-57页 |
| ·测量范围的确定 | 第57-62页 |
| 总结 | 第62-63页 |
| Abstract | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 附录 | 第66-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 学位论文独创性声明 | 第74页 |
