超精密双面抛光加工过程平稳性的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·超精密双面抛光技术的国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·超精密双面抛光加工工艺的研究现状 | 第11-13页 |
| ·超精密双面抛光设备的研究现状 | 第13-16页 |
| ·超精密双面抛光加工机理的研究现状 | 第16-17页 |
| ·存在问题 | 第17-18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 超精密双面抛光加工技术 | 第20-32页 |
| ·超精密双面抛光加工机理 | 第20-23页 |
| ·超精密双面抛光的加工原理 | 第20-21页 |
| ·超精密双面抛光的运动原理 | 第21-22页 |
| ·抛光表面形成过程 | 第22-23页 |
| ·双面抛光的工艺因素对抛光过程的影响 | 第23-27页 |
| ·抛光盘 | 第24页 |
| ·抛光液 | 第24-25页 |
| ·抛光垫 | 第25-26页 |
| ·抛光压力 | 第26页 |
| ·抛光速度 | 第26-27页 |
| ·抛光温度 | 第27页 |
| ·LZP-6BC 超精密双面抛光机介绍 | 第27-31页 |
| ·LZP-6BC 超精密双面抛光机的结构特点 | 第27-29页 |
| ·LZP-6BC 的控制系统 | 第29-30页 |
| ·LZP-6BC 的技术特点 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 双面抛光加工的物理模型分析 | 第32-38页 |
| ·研究的理论假设 | 第32-33页 |
| ·行星轮系的运动分析 | 第33-34页 |
| ·工件动力学模型的建立 | 第34-37页 |
| ·工件受力分析 | 第34-35页 |
| ·建立工件的动力学模型 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 双面抛光加工过程的建模与仿真 | 第38-49页 |
| ·ADAMS 软件简介 | 第38-39页 |
| ·双面抛光加工过程的建模 | 第39-44页 |
| ·基于ADAMS 设计机械系统的基本步骤 | 第39-41页 |
| ·双面抛光机虚拟样机的建模 | 第41页 |
| ·双面抛光机虚拟样机的定义 | 第41-44页 |
| ·双面抛光加工工艺过程的仿真 | 第44-48页 |
| ·压力载荷模拟 | 第44-46页 |
| ·抛光盘转速模拟 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 双面抛光加工平稳性的实验研究 | 第49-64页 |
| ·实验准备与条件 | 第49页 |
| ·双面抛光加工平稳性的实验研究 | 第49-57页 |
| ·不同内外齿圈转速比下的抛光平稳性 | 第49-51页 |
| ·不同抛光载荷下的抛光平稳性 | 第51-54页 |
| ·不同抛光盘转速下的抛光平稳性 | 第54-57页 |
| ·实验与仿真的结果对比 | 第57-59页 |
| ·工艺参数优化后的实验实例 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 结论与展望 | 第64-67页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-67页 |
| 符号说明 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第73页 |
