丝网印刷磷浆的研制及其扩散特性研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 前言 | 第8-27页 |
| ·我国发展光伏产业的几点理由 | 第8-11页 |
| ·常规化石能源危机 | 第8-9页 |
| ·光伏产品自身优势 | 第9-10页 |
| ·中国的地域特征 | 第10页 |
| ·国际光伏产业的蓬勃发展 | 第10-11页 |
| ·晶体硅太阳电池工业化发展现状 | 第11-19页 |
| ·快速热扩散技术 | 第12-15页 |
| ·选择性发射极太阳电池生产技术 | 第15-17页 |
| ·其他研究热点 | 第17-19页 |
| ·选择性发射极晶体硅太阳电池常用扩散掺杂方式 | 第19-21页 |
| ·POCl_3扩散模式 | 第19-20页 |
| ·APCVD法沉积磷硅玻璃 | 第20-21页 |
| ·丝网印刷磷浆和悬涂用磷扩散源 | 第21页 |
| ·选择性发射极太阳电池结构的实现方法 | 第21-25页 |
| ·光刻掩膜技术及反腐蚀技术 | 第22-23页 |
| ·丝网印刷扩散障碍层法 | 第23页 |
| ·机械织构后对齐扩散源法 | 第23-24页 |
| ·丝网印刷磷浆法 | 第24-25页 |
| ·项目研究的意义及预期达到的技术要求 | 第25-27页 |
| ·研究的意义 | 第25-26页 |
| ·丝网印刷磷浆预期达到的技术要求 | 第26-27页 |
| 2 丝网印刷磷浆的研制 | 第27-41页 |
| ·设计思想 | 第27页 |
| ·超细SiO_2调粘度法 | 第27-29页 |
| ·基本原理 | 第27页 |
| ·实验 | 第27-29页 |
| ·正硅酸乙酯水解法 | 第29-31页 |
| ·基本原理 | 第29-30页 |
| ·实验分析 | 第30-31页 |
| ·高聚物溶液法 | 第31-35页 |
| ·聚合物基本理论 | 第31-33页 |
| ·聚合物的分子特征 | 第31-32页 |
| ·聚合物的溶解 | 第32页 |
| ·聚合物溶液的粘度特点 | 第32页 |
| ·聚合物溶液的增塑 | 第32-33页 |
| ·聚合物的热稳定性 | 第33页 |
| ·实验设计 | 第33-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-35页 |
| ·丝网印刷磷浆的性能测试 | 第35-41页 |
| ·磷浆的物理和化学性能测试 | 第35-36页 |
| ·磷浆中其他金属离子的测试情况 | 第36-37页 |
| ·磷浆的热稳定性测试 | 第37-38页 |
| ·磷浆的印刷特性 | 第38-39页 |
| ·磷浆的粘度测试 | 第39-41页 |
| 3 丝网印刷磷浆的扩散特性研究 | 第41-56页 |
| ·链式烧结炉中的扩散 | 第41-43页 |
| ·常规扩散炉中的扩散 | 第43-48页 |
| ·不同浓度的磷浆在扩散炉中850℃时扩散40分钟 | 第43-44页 |
| ·不同的基片在扩散炉中850℃时扩散50分钟 | 第44-46页 |
| ·不同浓度的磷浆在常规扩散炉中扩散60分钟 | 第46-48页 |
| ·快速扩散炉中的扩散 | 第48-56页 |
| ·快速扩散中的两个问题 | 第48-50页 |
| ·扩散的均匀性 | 第48-49页 |
| ·快速扩散中的“恒温”与“变温” | 第49-50页 |
| ·不同浓度的磷浆在相同的扩散条件下的扩散结果 | 第50页 |
| ·同一磷浆在不同的温度下的扩散结果 | 第50-52页 |
| ·同一磷浆在不同的扩散时间下的扩散结果 | 第52-53页 |
| ·快速扩散中的杂质分布曲线模拟 | 第53-56页 |
| 4 结论 | 第56-57页 |
| 5 本实验要进一步改进的地方 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
