感光性PZT铁电薄膜制备及光敏性机理研究
| 第1章 文献综述 | 第1-21页 |
| 1．1 铁电薄膜的研究概述 | 第8-10页 |
| 1．2 铁电薄膜制备方法 | 第10-13页 |
| 1．2．1 化学气相沉积法 | 第11-12页 |
| 1．2．2 电化学法 | 第12页 |
| 1．2．3 水热法 | 第12-13页 |
| 1．3 溶胶-凝胶法 | 第13-19页 |
| 1．3．1 溶胶-凝胶法的研究现状 | 第13-16页 |
| 1．3．2 溶胶—凝胶法制备铁电薄膜概况 | 第16-19页 |
| 1．4 薄膜微图形化技术 | 第19-21页 |
| 第2章 实验设计及原理 | 第21-32页 |
| 2．1 正交试验设计 | 第21页 |
| 2．2 溶胶-凝胶法制备薄膜 | 第21-27页 |
| 2．2．1 溶胶-凝胶过程原理 | 第21-24页 |
| 2．2．2 浸渍法制膜工艺 | 第24-25页 |
| 2．2．3 影响因素的探讨 | 第25-27页 |
| 2．3 薄膜感光性原理 | 第27-29页 |
| 2．4 研究中设计的分析方法 | 第29-32页 |
| 2．4．1 光谱分析法 | 第29-30页 |
| 2．4．2 铁电薄膜的结构表征 | 第30-32页 |
| 第3章 研究内容 | 第32-63页 |
| 3．1 光敏性溶胶-凝胶的制备 | 第32-40页 |
| 3．1．1 试剂、仪器与设备 | 第32-33页 |
| 3．1．2 溶剂种类的影响 | 第33-34页 |
| 3．1．3 影响因素的探讨 | 第34-37页 |
| 3．1．4 最佳工艺条件的确定 | 第37-40页 |
| 3．2 薄膜制备 | 第40-45页 |
| 3．2．1 影响因素 | 第41-43页 |
| 3．2．2 性能测定 | 第43-45页 |
| 3．3 薄膜微图形化处理 | 第45-46页 |
| 3．4 溶胶-凝胶过程的反应机理研究 | 第46-56页 |
| 3．4．1 水解与缩聚过程 | 第46-49页 |
| 3．4．2 络合过程 | 第49-55页 |
| 3．4．3 结论 | 第55-56页 |
| 3．5 光敏化过程机理的研究 | 第56-63页 |
| 3．5．1 乙酰丙酮的光谱特性 | 第57-58页 |
| 3．5．2 光敏反应过程的研究 | 第58-63页 |
| 第4章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 4．1 结论 | 第63-64页 |
| 4．2 今后的展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第71页 |
