| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·MEMS简介 | 第8-10页 |
| ·MEMS中的粘附现象 | 第10-12页 |
| ·粘附力的实质 | 第12-13页 |
| ·纳米接触问题的研究方法及现状 | 第13-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-18页 |
| 第二章 分子动力学模拟的主要技术 | 第18-40页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·分子动力学模拟的基本原理 | 第19页 |
| ·势函数 | 第19-26页 |
| ·两体势 | 第20-22页 |
| ·Lennard-Jones势 | 第21-22页 |
| ·Morse势 | 第22页 |
| ·两体势小结 | 第22页 |
| ·三体势 | 第22-24页 |
| ·Tersoff势 | 第23-24页 |
| ·Pearson-Tikai-Halicioglu-Tiller势 | 第24页 |
| ·三体势小结 | 第24页 |
| ·多体势 | 第24-26页 |
| ·势函数小结 | 第26页 |
| ·有限差分算法 | 第26-29页 |
| ·Verlet算法 | 第26-27页 |
| ·Leap-frog算法 | 第27-28页 |
| ·Gear算法 | 第28页 |
| ·Velocity-Verlet算法 | 第28-29页 |
| ·其它算法 | 第29页 |
| ·初始条件和边界条件 | 第29-32页 |
| ·初始条件 | 第29-30页 |
| ·边界条件 | 第30-32页 |
| ·周期性边界条件 | 第30-31页 |
| ·非周期性边界条件 | 第31-32页 |
| ·分子动力学模拟的系综 | 第32-35页 |
| ·系综的分类 | 第32-33页 |
| ·系综的控制技术 | 第33-35页 |
| ·调温技术 | 第33-34页 |
| ·调压技术 | 第34-35页 |
| ·截断半径方法与邻域列表法 | 第35-36页 |
| ·宏观统计量的提取 | 第36-38页 |
| ·径向分布函数 | 第36-37页 |
| ·静态结构因子 | 第37页 |
| ·温度 | 第37页 |
| ·压力 | 第37页 |
| ·系统总能量 | 第37-38页 |
| ·扩散系数 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 MEMS球面模型接触过程分子动力学仿真方案 | 第40-54页 |
| ·分子动力学模型的建立 | 第40-41页 |
| ·原子间相互作用势函数 | 第41-42页 |
| ·系统运动方程及其求解算法 | 第42-46页 |
| ·系统运动方程 | 第42-45页 |
| ·系统运动方程的求解算法 | 第45-46页 |
| ·初始条件及边界条件的选取 | 第46-47页 |
| ·初始条件的选取 | 第46-47页 |
| ·边界条件的选取 | 第47页 |
| ·系统的温度控制 | 第47-48页 |
| ·分子动力学模拟其它控制参数的确定 | 第48-51页 |
| ·截断半径的选取 | 第48-49页 |
| ·对比单位的确定 | 第49-50页 |
| ·时间步长的选取 | 第50-51页 |
| ·接触过程分子动力学模拟流程图 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 分子动力学仿真结果分析 | 第54-66页 |
| ·弛豫过程 | 第54-55页 |
| ·接触过程 | 第55-58页 |
| ·压力分布曲线 | 第58-61页 |
| ·接触力—位移曲线 | 第61-62页 |
| ·接触半径分析 | 第62-63页 |
| ·接触过程能量分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-70页 |
| ·本文的主要结论 | 第66-68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 研究成果 | 第78-79页 |