十米激光滚珠丝杠综合行程误差动态测量系统设计与精度分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·丝杠测量方法发展 | 第8-11页 |
| ·静态测量法 | 第9页 |
| ·动态测量法 | 第9-11页 |
| ·丝杠测量仪国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·课题来源及研究背景意义 | 第14页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·课题研究背景意义 | 第14页 |
| ·论文研究的内容 | 第14-16页 |
| 2 测量仪总体方案设计 | 第16-28页 |
| ·仪器基本测量原理 | 第16页 |
| ·系统布局 | 第16-19页 |
| ·机械部分 | 第17-18页 |
| ·电气系统部分 | 第18-19页 |
| ·雷尼绍激光测长系统 | 第19-24页 |
| ·激光干涉测量法原理 | 第19-20页 |
| ·激光系统组成 | 第20-23页 |
| ·RCU10系统设置与特性 | 第23-24页 |
| ·激光系统布局 | 第24页 |
| ·雷尼绍圆光栅测角系统 | 第24-26页 |
| ·主轴伺服电机控制系统 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 3 测量仪机械系统设计 | 第28-55页 |
| ·概述 | 第28-29页 |
| ·头架设计 | 第29-33页 |
| ·头架体壳设计 | 第29页 |
| ·带传动设计 | 第29-31页 |
| ·齿轮传动设计 | 第31-32页 |
| ·主轴密珠轴承设计 | 第32-33页 |
| ·导轨设计 | 第33-36页 |
| ·导轨截面形状设计 | 第34-35页 |
| ·导轨材料选取 | 第35页 |
| ·导轨技术要求 | 第35-36页 |
| ·测量台设计与刚度校核 | 第36-46页 |
| ·测量架径向移动结构设计 | 第36-38页 |
| ·测量头设计 | 第38-39页 |
| ·测量台轴向移动结构设计 | 第39页 |
| ·测量台刚度校核 | 第39-45页 |
| ·测量台结构优化 | 第45-46页 |
| ·床身设计与刚度校核 | 第46-52页 |
| ·床身设计 | 第46-47页 |
| ·床身刚度校核 | 第47-50页 |
| ·床身结构优化 | 第50-52页 |
| ·尾架设计 | 第52-54页 |
| ·尾架体壳设计 | 第52页 |
| ·尾架主轴部件设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4 测量仪总体精度分析 | 第55-70页 |
| ·影响丝杠行程误差的测量精度的主要误差来源 | 第55-56页 |
| ·与丝杠长度无关的误差 | 第55页 |
| ·与丝杠长度有关的误差 | 第55-56页 |
| ·测量仪总体精度分配 | 第56-57页 |
| ·测量仪总体精度分析 | 第57-64页 |
| ·测量仪拨盘旋转精度引起的行程测量误差 | 第57-58页 |
| ·丝杠的径向跳动 | 第58页 |
| ·头尾架顶尖高度差引起的误差 | 第58-59页 |
| ·测量台运动平稳性对丝杠行程测量精度的影响 | 第59页 |
| ·阿贝误差 | 第59-60页 |
| ·导轨不等高带来的误差 | 第60页 |
| ·丝杠误差 | 第60-61页 |
| ·丝杠由于温度变化引起的测量误差 | 第61页 |
| ·丝杠垂直调整误差 | 第61页 |
| ·测量系统误差 | 第61-63页 |
| ·温度传感器稳定性引起的误差 | 第63-64页 |
| ·测头磨损量引起的误差 | 第64页 |
| ·误差合成 | 第64页 |
| ·丝杠测量仪的总体精度计算实例 | 第64-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 5 测控系统设计与测量数据分析 | 第70-83页 |
| ·系统功能 | 第70页 |
| ·测量系统流程设计 | 第70-71页 |
| ·控制系统功能设计 | 第71页 |
| ·操作界面简介 | 第71-74页 |
| ·丝杠动态测量仪检定规程 | 第74-75页 |
| ·技术要求 | 第74-75页 |
| ·检定条件 | 第75页 |
| ·测量仪测量精度检验 | 第75-82页 |
| ·梯形丝杠检定测量仪测量精度 | 第75-79页 |
| ·滚珠丝杠测量 | 第79-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 6 总结 | 第83-85页 |
| ·论文总结 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 附录 | 第89页 |
