| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-43页 |
| ·课题研究背景 | 第14-15页 |
| ·微机电系统 | 第15-26页 |
| ·微机电系统基础理论研究 | 第16页 |
| ·微机电系统关键技术研究 | 第16-21页 |
| ·MEMS典型应用及最新进展 | 第21-24页 |
| ·微机电系统发展展望 | 第24-26页 |
| ·先进碳基纳米材料及微纳器件 | 第26-39页 |
| ·先进碳基纳米材料 | 第26-29页 |
| ·碳纳米管基聚合物 | 第29-32页 |
| ·碳纳米管基微纳器件 | 第32-39页 |
| ·本文研究目标、内容及意义 | 第39-43页 |
| ·研究目标和内容 | 第39-41页 |
| ·论文思路及流程 | 第41-42页 |
| ·课题研究意义 | 第42-43页 |
| 第二章 电活性聚合物薄膜谐振子的建模仿真与实验研究 | 第43-65页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·电活性聚合物薄膜及其压电特性 | 第44-47页 |
| ·电活性聚合物薄膜制备与极化 | 第44-45页 |
| ·电活性聚合物薄膜力-电特性 | 第45-47页 |
| ·圆膜谐振子动力学行为建模研究 | 第47-50页 |
| ·圆膜谐振子振动特性仿真研究 | 第50-53页 |
| ·频率参数与T-D比的数值模拟 | 第50-51页 |
| ·圆膜谐振子基频特性数值模拟 | 第51-53页 |
| ·电活性聚合物薄膜谐振子ANSYS仿真研究 | 第53-57页 |
| ·圆膜谐振子固有频率ANSYS仿真 | 第53-56页 |
| ·圆膜谐振子模态振型ANSYS仿真 | 第56-57页 |
| ·电活性聚合物薄膜谐振子的实验研究 | 第57-63页 |
| ·电活性聚合物薄膜压电测试器件制备 | 第57-58页 |
| ·压电-激光测试系统实验研究 | 第58-61页 |
| ·圆膜谐振子几何尺寸的实验研究 | 第61-62页 |
| ·圆膜谐振子振动模态的实验研究 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第三章 静电诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜制备及表征 | 第65-84页 |
| ·前言 | 第65-66页 |
| ·碳纳米管表面羧基官能化 | 第66-68页 |
| ·实验原料试剂与仪器设备 | 第66页 |
| ·碳纳米管表面官能化工艺 | 第66-68页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜制备工艺 | 第68-71页 |
| ·实验原料及试剂 | 第68-70页 |
| ·静电自组装成膜制备工艺 | 第70-71页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜形态表征 | 第71-74页 |
| ·微观形貌表征技术及方法 | 第71-72页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜SEM形貌 | 第72-74页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜拉曼表征 | 第74-77页 |
| ·拉曼光谱表征方法与技术 | 第74-76页 |
| ·碳纳米管及组装薄膜拉曼测试 | 第76-77页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜电导率表征 | 第77-83页 |
| ·测试装置及器件制备 | 第77-78页 |
| ·I-V表征与实验测试 | 第78-82页 |
| ·薄膜电导率尺寸效应 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第四章 静电诱导组装碳纳米管/聚合物薄膜成膜机理研究 | 第84-98页 |
| ·前言 | 第84-85页 |
| ·石英晶体微天平（QCM）及其测量技术 | 第85-87页 |
| ·石英晶体天平测试系统 | 第85-86页 |
| ·吸附质量及膜厚预测模型 | 第86-87页 |
| ·离子强度对自组装过程的影响机理 | 第87-90页 |
| ·不同离子强度下的自组装实验 | 第87-88页 |
| ·自组装薄膜吸附机理及表征 | 第88-90页 |
| ·聚电解质浓度对自组装过程的影响机理 | 第90-91页 |
| ·不同聚电解质浓度下的自组装实验 | 第90页 |
| ·自组装薄膜吸附机理及表征 | 第90-91页 |
| ·组装周期对自组装过程的影响机理 | 第91-93页 |
| ·不同组装周期下的自组装实验 | 第91-92页 |
| ·自组装薄膜吸附机理及表征 | 第92-93页 |
| ·可调节性碳纳米管/聚合物薄膜自组装机理 | 第93-97页 |
| ·可调节性碳纳米管/聚合物薄膜自组装实验 | 第93页 |
| ·自组装薄膜吸附机理及表征 | 第93-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第五章 静电诱导组装碳纳米管/聚合物薄膜力学性能表征 | 第98-119页 |
| ·前言 | 第98-99页 |
| ·电活性聚合物薄膜基碳纳米管/聚合物薄膜自组装 | 第99-101页 |
| ·静电诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜的谐振频率测量 | 第101-105页 |
| ·压电激励与激光拾振测试技术及系统 | 第101-102页 |
| ·自组装薄膜器件谐振频率偏移实验测试 | 第102-105页 |
| ·静电诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜的力学性能表征 | 第105-111页 |
| ·三明治结构复合膜振动理论与模型 | 第105-107页 |
| ·碳纳米管/聚合物薄膜杨氏模量表征 | 第107-111页 |
| ·静电诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜杨氏模量评价 | 第111-117页 |
| ·纤维加强复合材料杨氏模量预测理论及模型 | 第111-113页 |
| ·静电诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜杨氏模量评价 | 第113-117页 |
| ·本章小结 | 第117-119页 |
| 第六章 电场诱导组装碳纳米管基薄膜谐振器表征与测试 | 第119-137页 |
| ·前言 | 第119-120页 |
| ·电场诱导组装碳纳米管薄膜制备工艺 | 第120-122页 |
| ·电场诱导组装碳纳米管薄膜过程分析 | 第122-124页 |
| ·电场诱导组装碳纳米管薄膜形态表征 | 第124-125页 |
| ·电场诱导组装碳纳米管薄膜拉曼表征 | 第125-126页 |
| ·电场诱导组装碳纳米管薄膜轮廓表征 | 第126-128页 |
| ·电场诱导碳纳米管薄膜动态机械特性 | 第128-135页 |
| ·SWNT/PVDF薄膜谐振器理论分析 | 第128-130页 |
| ·SWNT/PVDF薄膜动态机械性能测试 | 第130-134页 |
| ·SWNT/PVDF薄膜动态性能可调控性 | 第134-135页 |
| ·本章小结 | 第135-137页 |
| 第七章 自组装碳纳米管/聚合物薄膜新生代器件研究 | 第137-167页 |
| ·前言 | 第137-138页 |
| ·碳纳米管基透明薄膜风力发电机 | 第138-144页 |
| ·碳纳米管基透明薄膜风力发电机制备 | 第138-140页 |
| ·基于热线探头的风速测试与标定实验 | 第140-142页 |
| ·碳纳米管基透明薄膜风力发电机测试 | 第142-144页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜桥式梁制备及表征 | 第144-152页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜桥式梁制备工艺 | 第144-151页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜桥式梁表征研究 | 第151-152页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜微纳谐振器性能研究 | 第152-158页 |
| ·桥式梁结构谐振器理论模型 | 第152-155页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜微纳谐振器性能分析 | 第155-158页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜微纳开关性能研究 | 第158-165页 |
| ·桥式梁结构微纳开关理论模型 | 第158-160页 |
| ·自组装碳纳米管/聚合物薄膜微纳开关性能分析 | 第160-165页 |
| ·本章小结 | 第165-167页 |
| 结论与展望 | 第167-170页 |
| 结论 | 第167-169页 |
| 创新点 | 第169页 |
| 展望 | 第169-170页 |
| 参考文献 | 第170-183页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第183-185页 |
| 致谢 | 第185-186页 |
| 附件 | 第186页 |
