| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·等离子体的产生方式 | 第10-17页 |
| ·直流放电 | 第10-12页 |
| ·高频放电 | 第12-13页 |
| ·介质阻挡放电 | 第13-15页 |
| ·微波放电 | 第15-17页 |
| ·低温等离子体的诊断方法 | 第17-25页 |
| ·探针法 | 第18-19页 |
| ·质谱法 | 第19-20页 |
| ·光谱法 | 第20-25页 |
| ·本论文的主要工作 | 第25-26页 |
| 2 实验装置 | 第26-33页 |
| ·微波等离子体装置 | 第26-28页 |
| ·微波发生及传输系统 | 第26-27页 |
| ·微波放电系统 | 第27-28页 |
| ·配气和抽气系统 | 第28页 |
| ·水冷系统 | 第28页 |
| ·连续波光腔衰荡光谱装置 | 第28-33页 |
| ·激光源 | 第28-29页 |
| ·光隔离器 | 第29页 |
| ·声光调制器 | 第29页 |
| ·光学腔 | 第29-30页 |
| ·探测器 | 第30页 |
| ·触发电路的设计 | 第30-32页 |
| ·数据采集与程序 | 第32页 |
| ·其他辅助设备 | 第32-33页 |
| 3 微波等离子体中OH自由基的光腔衰荡光谱定量诊断研究 | 第33-51页 |
| ·前言 | 第33-34页 |
| ·OH自由基的近红外光谱 | 第34-36页 |
| ·衰荡时间的测定 | 第36-38页 |
| ·OH的光腔衰荡光谱测定 | 第38-40页 |
| ·OH的定量测定 | 第40-44页 |
| ·吸收谱线的线强度及配分函数 | 第40-41页 |
| ·OH自由基数密度的计算 | 第41-42页 |
| ·OH转动温度的测定 | 第42-44页 |
| ·OH数密度随放电参数及气体组成的变化情况 | 第44-50页 |
| ·OH数密度随放电气压的变化 | 第44-46页 |
| ·OH数密度随微波功率的变化 | 第46页 |
| ·OH数密度随体系中O_2含量的变化 | 第46-49页 |
| ·OH数密度随体系中He含量的变化 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 连续波腔增强吸收光谱 | 第51-58页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·实验装置 | 第52-53页 |
| ·实验结果 | 第53-57页 |
| ·反射率的测量 | 第53-54页 |
| ·转动温度的测量 | 第54页 |
| ·OH的定量测定 | 第54-55页 |
| ·放电气压和微波功率对OH数密度的影响 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·本研究工作的主要成果 | 第58页 |
| ·实验展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录A 光腔衰荡光谱实验数据处理程序 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |