| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-30页 |
| ·选题背景与意义 | 第12-13页 |
| ·工艺参数扰动对VLSI的影响 | 第13-17页 |
| ·工艺参数扰动对互连线的影响 | 第13-15页 |
| ·工艺参数扰动对参数成品率估计与优化的影响 | 第15-16页 |
| ·工艺参数扰动对集成电路标称值设计优化的影响 | 第16-17页 |
| ·VLSI工艺参数扰动问题的研究现状 | 第17-27页 |
| ·互连线工艺参数扰动问题的研究现状 | 第17-22页 |
| ·确定性模型的研究现状 | 第18-20页 |
| ·工艺参数扰动问题的研究现状 | 第20-22页 |
| ·参数成品率估计与优化中工艺参数扰动问题的研究现状 | 第22-24页 |
| ·集成电路标称值设计优化中工艺参数扰动问题的研究现状 | 第24-27页 |
| ·论文组织结构 | 第27页 |
| ·主要工作与创新点 | 第27-30页 |
| 2 均匀耦合互连线的传输性能分析 | 第30-44页 |
| ·去耦方法 | 第31-34页 |
| ·均匀耦合互连线的串扰噪声分析 | 第34-37页 |
| ·互连线串扰噪声估计 | 第35页 |
| ·实验分析 | 第35-37页 |
| ·均匀耦合互连线的互连时延估计 | 第37-42页 |
| ·斜阶跃信号激励下的互连时延估计 | 第38-40页 |
| ·实验分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 3 工艺参数扰动下互连线传输性能的随机谱分析 | 第44-78页 |
| ·相关理论概述 | 第44-50页 |
| ·多项式混沌展开理论 | 第45-46页 |
| ·随机谱方法 | 第46-49页 |
| ·随机伽辽金方法 | 第46-48页 |
| ·随机点匹配方法 | 第48-49页 |
| ·积分配置点选取方法 | 第49-50页 |
| ·直接张量基策略 | 第49页 |
| ·稀疏网格策略 | 第49-50页 |
| ·工艺参数扰动下的耦合互连线传输性能分析 | 第50-77页 |
| ·耦合互连线随机建模 | 第51-52页 |
| ·工艺参数扰动下耦合互连线的去耦方法 | 第52-54页 |
| ·建立互连线节点分析方程 | 第54-55页 |
| ·基于随机伽辽金方法的传输性能分析 | 第55-62页 |
| ·传输性能的理论分析 | 第55-58页 |
| ·实验分析 | 第58-62页 |
| ·基于随机点匹配方法的传输性能分析 | 第62-69页 |
| ·传输性能的理论分析 | 第62-64页 |
| ·实验分析 | 第64-69页 |
| ·方法执行效率分析 | 第69-70页 |
| ·基于多互连线耦合的互连时延分析 | 第70-77页 |
| ·多互连线耦合模型 | 第70-71页 |
| ·多耦合互连线时延估计 | 第71-74页 |
| ·实验分析 | 第74-77页 |
| ·本章小节 | 第77-78页 |
| 4 工艺参数扰动下芯片参数成品率的多目标优化 | 第78-100页 |
| ·相关理论概述 | 第78-92页 |
| ·切比雪夫仿射技术 | 第78-81页 |
| ·基于切比雪夫仿射技术的边界估计 | 第81-88页 |
| ·P-box表示法 | 第81-82页 |
| ·基于切比雪夫逼近的P-box线性化 | 第82-83页 |
| ·仿射计算的PLPB边界求解 | 第83-88页 |
| ·基于自适应加权求和方法的多目标优化 | 第88-92页 |
| ·帕雷托优化问题 | 第88页 |
| ·自适应加权求和优化方法 | 第88-92页 |
| ·芯片参数成品率多目标优化 | 第92-96页 |
| ·漏电功耗及芯片时延模型 | 第92-94页 |
| ·漏电功耗模型 | 第92-93页 |
| ·芯片时延模型 | 第93-94页 |
| ·基于切比雪夫仿射理论的成品率多目标优化 | 第94-96页 |
| ·实验分析 | 第96-99页 |
| ·本章小节 | 第99-100页 |
| 5 工艺参数扰动下集成电路标称值设计优化 | 第100-114页 |
| ·参数域鲁棒性及性能域鲁棒性 | 第100-106页 |
| ·扰动系统模型 | 第100-101页 |
| ·参数域鲁棒性 | 第101-105页 |
| ·性能域鲁棒性 | 第105-106页 |
| ·基于SURROGATES的设计空间优化 | 第106-109页 |
| ·鲁棒优化模型 | 第106-107页 |
| ·替代模型处理框架(SMF) | 第107-108页 |
| ·基于Surrogates的优化求解 | 第108-109页 |
| ·实验分析 | 第109-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 6 结论与展望 | 第114-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-140页 |
| 附录A:攻读博士期间发表及在审的论文 | 第140页 |