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氧化钛柱状纳米结构薄膜的制备和光催化性能研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-34页
   ·研究背景第8-9页
   ·纳米材料的效应第9-11页
     ·量子尺寸效应第9页
     ·量子相干效应第9-10页
     ·量子霍耳效应第10页
     ·小尺寸效应第10页
     ·表面与界面效应第10-11页
     ·宏观量子隧道效应第11页
   ·纳米技术的应用第11-18页
     ·纳米技术在环保和能源领域中的应用第12-14页
     ·纳米材料在化学催化领域中的应用第14页
     ·纳米技术在生物医药领域中的应用第14-15页
     ·纳米技术在光电领域的应用第15-16页
     ·纳米技术在电子信息领域中的应用第16-18页
   ·Ti0_2 系纳米材料概述及其光催化特性第18-25页
     ·纳米Ti0_2 光催化降解有机物第20-22页
     ·纳米Ti0_2 光催化分解水第22-23页
     ·纳米Ti0_2 光催化灭菌第23-24页
     ·纳米Ti0_2 在太阳能电池中的应用第24页
     ·Ti0_2 系纳米材料的其他特性第24-25页
   ·倾斜生长法(GLAD)第25-33页
     ·GLAD 原理第25-27页
     ·GLAD 对薄膜的调控第27-32页
     ·GLAD 的特点第32-33页
   ·论文想法和内容第33-34页
第2章 实验过程及分析仪器第34-40页
   ·钛薄膜的制备方法及设备第34-36页
     ·磁控溅射技术介绍第34-35页
     ·三靶共溅射型高真空磁控溅射装置介绍第35页
     ·直流磁控溅射沉积钛薄膜的一般步骤第35-36页
   ·其他主要实验方法及过程第36-40页
     ·基底的清洗第36-37页
     ·退火处理第37页
     ·所用主要分析表征方法及设备第37-40页
第3章 柱状纳米结构钛薄膜的生长及其退火氧化规律第40-56页
   ·钛柱状纳米结构薄膜的生长与表征第40-42页
     ·实验过程第40-41页
     ·钛薄膜的形貌第41页
     ·钛薄膜的相结构分析第41-42页
   ·钛柱状纳米结构薄膜的退火氧化与规律探讨第42-53页
     ·实验过程第42页
     ·退火对薄膜形貌的影响第42-47页
     ·薄膜在退火中的氧化相变规律第47-52页
     ·不同氧化程度薄膜的光致发光性能第52-53页
   ·本章小结第53-56页
第4章 柱状结构二氧化钛薄膜的制备及其光催化性能第56-68页
   ·二氧化钛柱状纳米结构的制备与表征第57-60页
     ·实验过程第57页
     ·二氧化钛薄膜的相结构分析第57-59页
     ·二氧化钛薄膜的形貌分析第59-60页
   ·柱状分立结构二氧化钛的光催化性能第60-61页
     ·实验过程第60页
     ·实验结果与讨论第60-61页
   ·沉积角对分立结构二氧化钛薄膜的形貌和性能影响第61-66页
     ·实验过程第61-62页
     ·不同沉积角沉积薄膜的厚度第62页
     ·退火氧化后的相结构第62-63页
     ·退火氧化后的微观形貌第63-65页
     ·不同沉积角度样品的光催化性能表征第65-66页
   ·本章小结第66-68页
第5章 结论第68-70页
参考文献第70-74页
致谢第74-76页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第76页

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