| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·半导体制造造流程简介 | 第10-11页 |
| ·设备维护管理发展简介 | 第11-13页 |
| ·精益生产以及精益思想介绍 | 第13-16页 |
| ·课题的研宄背景 | 第16页 |
| ·研宄目的和意义 | 第16-18页 |
| ·文献综述 | 第18-20页 |
| ·快速换模(sMED) | 第18-19页 |
| ·设备的高精度维护 | 第19-20页 |
| ·论文结构 | 第20-21页 |
| 第2章 半导体制造系统准确快速换模与维护的研究方法 | 第21-30页 |
| ·sMED研究方法 | 第21-25页 |
| ·快速换模的作用 | 第21-22页 |
| ·快速换模的实施方法 | 第22-25页 |
| ·高精度维护研宄方法 | 第25-28页 |
| ·价值流图析(vsM) | 第25-27页 |
| ·标准方法可视化 | 第27页 |
| ·取消、合并、重排、简化(EcRs)原则 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 A公司实施准确快速换模和维护的分析步骤 | 第30-43页 |
| ·分级测试工段工艺流程介绍 | 第30-31页 |
| ·定义 | 第31-34页 |
| ·定义关键质量特性(cTO) | 第31-32页 |
| ·定义项目范围和目标 | 第32-33页 |
| ·项目小组的构建 | 第33-34页 |
| ·测量 | 第34-38页 |
| ·需要测量的数据 | 第34页 |
| ·测量方法 | 第34-36页 |
| ·测量结果 | 第36-38页 |
| ·分析 | 第38-42页 |
| ·鱼骨图 | 第38-39页 |
| ·失效模式分析 | 第39页 |
| ·现场观察法(包含价值流图析) | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 A公司实施准确快速换模的改善与控制步骤 | 第43-57页 |
| ·改善 | 第43-50页 |
| ·换模流程的取消、合并与重排 | 第43-47页 |
| ·维护流程的取消、合并、重排、简化 | 第47页 |
| ·对人员的培训与激励 | 第47-49页 |
| ·物料和工具准备 | 第49-50页 |
| ·控制 | 第50-54页 |
| ·制定换模、维护质量的衡量标准 | 第50-51页 |
| ·指定与实施标准作业流程 | 第51-54页 |
| ·持续改善 | 第54页 |
| ·改善效果 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57-58页 |
| ·实施条件及其局限性分析 | 第58页 |
| ·探讨进一步的研宄方向 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第62页 |