| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题来源与背景意义 | 第12-13页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 背景意义 | 第12-13页 |
| 1.2 流体动压抛光法国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 液动压悬浮抛光新方法的提出 | 第17-20页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第20-22页 |
| 第2章 液动压悬浮抛光流场的理论分析 | 第22-42页 |
| 2.1 压力和承载能力对加工质量的影响 | 第22-23页 |
| 2.1.1 压力和材料去除之间的关系 | 第22-23页 |
| 2.1.2 承载能力、加工间隙和磨粒接触状态之间的关系 | 第23页 |
| 2.2 基于二维结构化流场的压力和承载能力公式 | 第23-27页 |
| 2.2.1 二维结构化流场 | 第23-25页 |
| 2.2.2 压力公式 | 第25-26页 |
| 2.2.3 承载能力公式 | 第26-27页 |
| 2.3 基于二维结构化流场的压力和承载能力作用规律 | 第27-37页 |
| 2.3.1 约束边界对压力分布的作用规律 | 第27-30页 |
| 2.3.2 约束边界对承载能力的作用规律 | 第30页 |
| 2.3.3 楔形流道对压力分布的作用规律 | 第30-35页 |
| 2.3.4 楔形流道对承载能力的作用规律 | 第35-37页 |
| 2.4 基于平行旋转圆盘流场的压力和速度分布 | 第37-40页 |
| 2.4.1 平行旋转圆盘流场 | 第37页 |
| 2.4.2 速度分布 | 第37-39页 |
| 2.4.3 压力分布 | 第39-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 液动压悬浮抛光流场的数值模拟 | 第42-62页 |
| 3.1 计算流体力学概述 | 第42-44页 |
| 3.2 三维流场的计算模型 | 第44-47页 |
| 3.2.1 模型建立 | 第44-46页 |
| 3.2.2 网格划分 | 第46页 |
| 3.2.3 流动状态分析及初始条件设置 | 第46-47页 |
| 3.3 计算结果与分析 | 第47-53页 |
| 3.3.1 流体压力分布 | 第47-49页 |
| 3.3.2 磨粒速度分布 | 第49-53页 |
| 3.4 PIV观测实验 | 第53-60页 |
| 3.4.1 实验准备 | 第53-54页 |
| 3.4.2 实验过程 | 第54-56页 |
| 3.4.3 实验结果分析 | 第56-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第4章 材料去除和应力松弛机理 | 第62-78页 |
| 4.1 有限元软件ABAQUS介绍 | 第62-65页 |
| 4.1.1 ABAQUS简介 | 第62-63页 |
| 4.1.2 ABAQUS接触分析 | 第63-64页 |
| 4.1.3 ABAQUS碰撞分析 | 第64-65页 |
| 4.2 磨粒撞击工件的计算模型 | 第65-69页 |
| 4.2.1 模型假设 | 第65-66页 |
| 4.2.2 模型建立 | 第66-67页 |
| 4.2.3 材料属性 | 第67-68页 |
| 4.2.4 网格划分和初始条件设置 | 第68-69页 |
| 4.3 计算结果与分析 | 第69-76页 |
| 4.3.1 单颗磨粒撞击 | 第69-73页 |
| 4.3.2 多颗磨粒撞击 | 第73-76页 |
| 4.4 本章小结 | 第76-78页 |
| 第5章 原子级超光滑表面加工实验 | 第78-92页 |
| 5.1 超光滑表面试样制备 | 第78-81页 |
| 5.1.1 机械抛光试样制备 | 第78-80页 |
| 5.1.2 液动压悬浮抛光试样制备 | 第80-81页 |
| 5.2 超光滑表面试样表征 | 第81-85页 |
| 5.2.1 Wyko白光干涉仪测试分析 | 第81-82页 |
| 5.2.2 SEM测试分析 | 第82-84页 |
| 5.2.3 TEM测试分析 | 第84-85页 |
| 5.3 残余应力测试实验 | 第85-91页 |
| 5.3.1 测试准备 | 第85-86页 |
| 5.3.2 残余应力测试 | 第86-88页 |
| 5.3.3 测试结果分析 | 第88-91页 |
| 5.4 本章小结 | 第91-92页 |
| 第6章 结论与展望 | 第92-94页 |
| 6.1 结论 | 第92页 |
| 6.2 创新点 | 第92-93页 |
| 6.3 展望 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第103-104页 |