| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 皮拉尼真空计的分类及现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文研究的意义和研究内容 | 第11-13页 |
| 2 结构设计 | 第13-33页 |
| 2.1 皮拉尼真空计结构概述 | 第13-14页 |
| 2.2 皮拉尼真空计工作原理 | 第14-19页 |
| 2.3 皮拉尼真空计设计 | 第19-25页 |
| 2.4 带有孔槽的PSPI薄膜及皮拉尼真空计的改进 | 第25-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 结构加工 | 第33-46页 |
| 3.1 皮拉尼真空计加工简介 | 第33页 |
| 3.2 皮拉尼真空计的加工 | 第33-42页 |
| 3.3 皮拉尼真空计的改进及其加工工艺 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 皮拉尼真空计的测试 | 第46-54页 |
| 4.1 皮拉尼真空计测量简介 | 第46-48页 |
| 4.2 测量电阻和压强时碰到的问题及设备改进 | 第48-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 总结和展望 | 第54-56页 |
| 5.1 本文所做内容的总结 | 第54-55页 |
| 5.2 后期改进的展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录1 皮拉尼真空计工艺流程 | 第61-63页 |
| 附录2 MATLAB计算程式 | 第63-64页 |
| 附录3 压强和电阻测量数据 | 第64页 |