| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1. 课题来源与研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.1. 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2. 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2. 表面/亚表面损伤的检测方法 | 第10-13页 |
| 1.3. 国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3.1. 表面/亚表面损伤的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.2. X射线衍射方法的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.4. 课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 缺陷晶体的X射线衍射理论研究 | 第19-37页 |
| 2.1. 引言 | 第19页 |
| 2.2. X射线衍射基础 | 第19-23页 |
| 2.2.1. X射线的产生及衍射 | 第19-21页 |
| 2.2.2. X射线衍射实验方法 | 第21-23页 |
| 2.3. 理想晶体的共面掠入射X射线衍射理论 | 第23-27页 |
| 2.3.1. 晶体的超精密加工 | 第23-24页 |
| 2.3.2. 晶体的共面掠入射X射线衍射形成条件分析 | 第24-25页 |
| 2.3.3. 理想单晶体的共面掠入射X射线衍射理论分析 | 第25-27页 |
| 2.4. 含缺陷单晶体的共面掠入射X射线衍射理论分析 | 第27-33页 |
| 2.4.1. 间距变化晶面的共面掠入射衍射 | 第27-30页 |
| 2.4.2. 晶面位向变化的共面掠入射衍射 | 第30-32页 |
| 2.4.3. 两种晶面变化的衍射图像变化规律 | 第32-33页 |
| 2.5. 实验误差的来源及消除方法 | 第33-34页 |
| 2.6. 任意两晶面夹角计算 | 第34-35页 |
| 2.7. 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 缺陷晶体的X射线衍射现象及分析 | 第37-51页 |
| 3.1. 引言 | 第37页 |
| 3.2. 样品制作及XRD实验条件 | 第37-39页 |
| 3.2.1. 超精密加工样品制作 | 第37-38页 |
| 3.2.2. XRD实验条件 | 第38-39页 |
| 3.3. KDP基体晶面的衍射分析 | 第39-41页 |
| 3.3.1. KDP试样的基体峰与水平晶面 | 第39页 |
| 3.3.2. KDP试样的“近基体峰” | 第39-41页 |
| 3.4. 变化晶面的衍射情况 | 第41-48页 |
| 3.4.1. 间距变化晶面的衍射 | 第41-44页 |
| 3.4.2. 位向变化晶面的衍射 | 第44-47页 |
| 3.4.3. 两种晶面变化的衍射峰变化规律 | 第47-48页 |
| 3.5. 其他单晶材料的衍射实验 | 第48-49页 |
| 3.6. 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 超精密加工表面/亚表面损伤分析 | 第51-68页 |
| 4.1. 引言 | 第51页 |
| 4.2. 表面/亚表面的结构层次 | 第51-57页 |
| 4.2.1. 随机分布的多晶层 | 第51-53页 |
| 4.2.2. 择优取向层 | 第53-55页 |
| 4.2.3. 单晶晶格应变层 | 第55-57页 |
| 4.3. 损伤层厚度计算 | 第57-61页 |
| 4.3.1. X射线穿透深度 | 第57-58页 |
| 4.3.2. 损伤层厚度计算 | 第58-61页 |
| 4.4. 残余应力分析 | 第61-67页 |
| 4.4.1. 四方晶体的力学特性 | 第61-64页 |
| 4.4.2. 第三层的应力分析 | 第64-65页 |
| 4.4.3. 前两层的应力分析 | 第65-67页 |
| 4.5. 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
