| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 蚀刻技术 | 第11-12页 |
| 1.1.1 H_2O_2/H_2SO_4微蚀刻液的蚀刻原理 | 第11页 |
| 1.1.2 (NH_4)2S_2O_8/H_2SO_4微蚀刻液的蚀刻原理 | 第11-12页 |
| 1.2 微蚀刻废液的产生及其环境影响 | 第12-13页 |
| 1.3 废液中铜离子的处理方法现状 | 第13-17页 |
| 1.3.1 吸附法 | 第13-14页 |
| 1.3.2 沉淀处理法 | 第14-15页 |
| 1.3.3 萃取法 | 第15页 |
| 1.3.4 膜分离法 | 第15-16页 |
| 1.3.5 离子交换法 | 第16页 |
| 1.3.6 电解法 | 第16-17页 |
| 1.3.7 废液用来生产产品 | 第17页 |
| 1.4 国内外过硫酸铵的合成方法现状 | 第17-22页 |
| 1.4.1 非电解法生产过硫酸铵 | 第18页 |
| 1.4.2 电解法生产过硫酸铵 | 第18-22页 |
| 1.5 国内外膜电解再生方法的研究现状 | 第22-23页 |
| 1.6 本课题的研究内容和意义 | 第23-25页 |
| 1.6.1 课题的主要研究内容 | 第23页 |
| 1.6.2 本课题研究的意义 | 第23-25页 |
| 第2章 实验材料及方法 | 第25-33页 |
| 2.1 实验仪器及药品 | 第25-26页 |
| 2.1.1 实验仪器 | 第25页 |
| 2.1.2 实验药品 | 第25-26页 |
| 2.2 实验装置及运行 | 第26-28页 |
| 2.2.1 实验装置设计与制作 | 第26-28页 |
| 2.3 实验方法与测试 | 第28-33页 |
| 2.3.1 循环伏安曲线的测定 | 第28-29页 |
| 2.3.2 过氧化氢测定方法 | 第29-30页 |
| 2.3.3 过硫酸铵与铜离子的测定 | 第30-31页 |
| 2.3.4 电流效率的计算 | 第31-32页 |
| 2.3.5 蚀刻速率的计算方法 | 第32-33页 |
| 第3章 阴极电解法去除铜的优化研究 | 第33-45页 |
| 3.1 前言 | 第33页 |
| 3.2 阴极电解法去除铜的优化 | 第33-41页 |
| 3.2.1 阴极材料对去除铜的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 阳极材料对去除铜的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 电流密度对去除铜的影响 | 第36-38页 |
| 3.2.4 铜离子对去除铜的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.5 硫酸的体积分数对去除铜的影响 | 第39-41页 |
| 3.3 阴极上铜的沉积情况 | 第41-42页 |
| 3.4 (NH_4)2S_2O_8的浓度变化情况 | 第42-43页 |
| 3.5 pH变化情况 | 第43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 膜电解法阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的优化研究 | 第45-59页 |
| 4.1 前言 | 第45页 |
| 4.2 膜电解法阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的优化 | 第45-57页 |
| 4.2.1 抑制剂对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第45-48页 |
| 4.2.2 KSCN对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.3 电流密度对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第49-51页 |
| 4.2.4 温度对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.5 (NH_4)2SO_4浓度对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第52-54页 |
| 4.2.6 膜对阳极原位产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.7 硫酸的体积分数对阳极产(NH_4)2S_2O_8的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 pH的变化情况 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 多次循环再生蚀刻和同步再生蚀刻 | 第59-72页 |
| 5.1 多次循环再生蚀刻的研究 | 第59-66页 |
| 5.1.1 多次循环阴极电解法去除铜 | 第59-61页 |
| 5.1.2 多次循环阳极原位产过硫酸铵 | 第61-64页 |
| 5.1.3 多次循环蚀刻 | 第64-66页 |
| 5.2 同步再生蚀刻的研究 | 第66-70页 |
| 5.2.1 同步再生蚀刻时电流密度的优化 | 第66-68页 |
| 5.2.2 蚀刻时间对蚀刻的影响 | 第68-70页 |
| 5.3 同步与不同步再生时的比较研究 | 第70-71页 |
| 5.3.1 阴极电解法去除铜时的比较 | 第70页 |
| 5.3.2 膜电解法阳极产过硫酸铵时的比较 | 第70-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
