AlN/TiN体系的修正嵌入原子相互作用势函数的研究
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第9页 |
| 1.2 氮化物多层膜硬度的研究 | 第9-11页 |
| 1.2.1 TiN材料的研究现状 | 第10页 |
| 1.2.2 AlN材料的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文的研究意义和研究内容 | 第11-13页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第11页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第11-13页 |
| 2 MEAM势及其相关计算软件 | 第13-22页 |
| 2.1 密度泛函理论及其计算软件 | 第13-15页 |
| 2.1.1 密度泛函理论简介 | 第13-14页 |
| 2.1.2 VASP软件包介绍 | 第14-15页 |
| 2.2 MEAM势及相关计算软件 | 第15-21页 |
| 2.2.1 简介 | 第15页 |
| 2.2.2 EAM势 | 第15-17页 |
| 2.2.3 MEAM势 | 第17-20页 |
| 2.2.4 Lammps软件 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 MEAM势参数的优化方法 | 第22-31页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 势参数确定的基本思路 | 第22-23页 |
| 3.2.1 确定方法 | 第22-23页 |
| 3.2.2 目标函数的选择 | 第23页 |
| 3.3 实例验证 | 第23-30页 |
| 3.3.1 TiN MEAM势参数 | 第23-25页 |
| 3.3.2 参数验证 | 第25-26页 |
| 3.3.3 TiN MEAM势研究 | 第26-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 AlN MEAM势函数的优化 | 第31-40页 |
| 4.1 引言 | 第31页 |
| 4.2 势参数优化 | 第31-33页 |
| 4.2.1 计算模型 | 第31-32页 |
| 4.2.2 AlN MEAM势参数优化 | 第32-33页 |
| 4.3 参数验证 | 第33-35页 |
| 4.4 AlN MEAM势研究 | 第35-39页 |
| 4.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 AlTi MEAM势函数优化 | 第40-48页 |
| 5.1 引言 | 第40页 |
| 5.2 势参数的优化 | 第40-41页 |
| 5.2.1 计算模型 | 第40页 |
| 5.2.2 AlTi势参数优化 | 第40-41页 |
| 5.3 参数验证 | 第41-45页 |
| 5.4 Al-N-Ti三元体系的势参数 | 第45页 |
| 5.5 AlN/TiN体系MEAM势及参数汇总 | 第45-47页 |
| 5.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 6 结论与展望 | 第48-50页 |
| 6.1 主要结论 | 第48页 |
| 6.2 后续研究工作 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
