| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| Contents | 第12-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-38页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 微细阵列孔的研究现状及分析 | 第16-22页 |
| 1.2.1 微细阵列孔分类 | 第16-18页 |
| 1.2.2 微细阵列孔加工技术研究现状 | 第18-22页 |
| 1.3 微细电火花加工及其加工微细阵列孔的研究进展 | 第22-29页 |
| 1.3.1 微细电火花加工技术研究进展 | 第22-23页 |
| 1.3.2 微细电火花加工装备的研究进展 | 第23-26页 |
| 1.3.3 微细阵列孔电火花加工技术的研究进展 | 第26-29页 |
| 1.4 微细电火花加工工作液及流场仿真的研究现状 | 第29-32页 |
| 1.4.1 去离子水作为微细电火花加工工作液的研究进展 | 第30-31页 |
| 1.4.2 微细电火花加工间隙流场仿真的研究进展 | 第31-32页 |
| 1.5 微细电火花加工电极损耗及其补偿技术的研究现状 | 第32-35页 |
| 1.5.1 微细电火花加工电极损耗的研究现状 | 第33页 |
| 1.5.2 微细电火花加工电极损耗补偿技术的研究进展 | 第33-35页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第35-38页 |
| 第2章 保障微喷阵列孔孔径一致性的相关装置研究 | 第38-53页 |
| 2.1 微喷阵列孔微细电火花加工系统的特性分析 | 第38-39页 |
| 2.2 微喷阵列孔微细电火花加工系统方案设计 | 第39-43页 |
| 2.3 在线制作电极系统的研制 | 第43-45页 |
| 2.4 CCD在线视觉测量系统设计与研究 | 第45-49页 |
| 2.4.1 CCD视觉测量系统集成设计 | 第46-47页 |
| 2.4.2 CCD视觉测量系统图像测量技术研究 | 第47-48页 |
| 2.4.3 CCD视觉测量系统软件界面设计 | 第48-49页 |
| 2.5 其他功能装置设计与研究 | 第49-52页 |
| 2.5.1 真空吸盘工件定位装置设计 | 第49-50页 |
| 2.5.2 精密旋转主轴部件设计与研究 | 第50-51页 |
| 2.5.3 高电阻率的去离子水循环系统的研制 | 第51-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第3章 基于PMAC的宏微复合驱动数控系统的研制 | 第53-67页 |
| 3.1 宏微复合驱动数控系统的设计 | 第53-60页 |
| 3.1.1 微喷阵列孔微细电火花加工的控制性能分析 | 第53页 |
| 3.1.2 基于PMAC的控制系统总体设计 | 第53-56页 |
| 3.1.3 宏微复合进给驱动设计与研究 | 第56-60页 |
| 3.2 基于PMAC的伺服进给系统设计与研究 | 第60-62页 |
| 3.2.1 伺服进给系统总体设计 | 第60-61页 |
| 3.2.2 放电状态检测电路设计 | 第61页 |
| 3.2.3 伺服进给控制研究 | 第61-62页 |
| 3.3 基于PMAC的定位补偿技术研究 | 第62-64页 |
| 3.3.1 定位精度的检测分析 | 第62-63页 |
| 3.3.2 PMAC定位补偿及其精度测试研究 | 第63-64页 |
| 3.4 压电陶瓷的驱动控制与位移线性补偿技术研究 | 第64-66页 |
| 3.4.1 压电陶瓷驱动控制的研究 | 第65页 |
| 3.4.2 压电陶瓷驱动位移线性补偿技术研究 | 第65-66页 |
| 3.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 间隙流场对孔径一致性影响的仿真与试验研究 | 第67-89页 |
| 4.1 微细电火花加工工作液的对比研究 | 第67-71页 |
| 4.1.1 工作液的性能分析研究 | 第67-68页 |
| 4.1.2 微喷阵列孔加工工作液对比试验研究 | 第68-71页 |
| 4.2 微喷阵列孔加工冲水条件的流场性能分析 | 第71-76页 |
| 4.2.1 放电区域冲水作用变化规律分析 | 第71-72页 |
| 4.2.2 去离子水工作浪流场仿真设计 | 第72-73页 |
| 4.2.3 不同加工阶段的流场仿真研究 | 第73-76页 |
| 4.3 微喷阵列孔加工间隙流场仿真研究 | 第76-80页 |
| 4.3.1 冲水流量与间隙流速流场仿真研究 | 第78-79页 |
| 4.3.2 冲水角度与间隙流速流场仿真研究 | 第79页 |
| 4.3.3 电极转速与间隙流速流场仿真研究 | 第79-80页 |
| 4.4 去离子水条件下加工微喷阵列孔径一致性试验研究 | 第80-88页 |
| 4.4.1 冲水流量对加工性能影响的试验研究 | 第80-83页 |
| 4.4.2 冲水角度对加工性能影响的试验研究 | 第83-84页 |
| 4.4.3 电极旋转速度对加工性能影响的试验研究 | 第84-86页 |
| 4.4.4 去离子水电阻率对加工性能影响的试验研究 | 第86-88页 |
| 4.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 控制孔径一致性的电极损耗及其补偿技术研究 | 第89-113页 |
| 5.1 微喷阵列孔加工电极损耗特点的分析 | 第89-92页 |
| 5.2 微喷阵列孔加工电极损耗模型的建立 | 第92-96页 |
| 5.3 电极损耗的工艺参数试验研究 | 第96-102页 |
| 5.3.1 微细电火花加工放电能量分配分析 | 第96-97页 |
| 5.3.2 微喷阵列孔加工电极损耗的影响因素分析 | 第97-98页 |
| 5.3.3 电极定位及损耗测量方法研究 | 第98-99页 |
| 5.3.4 脉冲电源参数对电极损耗的影响试验研究 | 第99-102页 |
| 5.4 微喷阵列孔加工孔径一致性控制的电极损耗补偿技术研究 | 第102-112页 |
| 5.4.1 单个微喷阵列孔加工电极损耗补偿研究 | 第102-105页 |
| 5.4.2 微喷阵列孔加工电极损耗补偿特点分析 | 第105-108页 |
| 5.4.3 微喷阵列孔加工电极损耗补偿策略设计 | 第108-110页 |
| 5.4.4 微喷阵列孔加工电极损耗补偿原则研究 | 第110-112页 |
| 5.5 本章小结 | 第112-113页 |
| 第6章 微喷阵列孔孔径一致性加工工艺试验研究 | 第113-131页 |
| 6.1 微喷阵列孔孔径一致性影响因素分析 | 第113-116页 |
| 6.2 脉冲电源参数对加工孔径一致性的影响试验研究 | 第116-119页 |
| 6.3 脉冲电源参数对加工速度和加工质量的影响试验研究 | 第119-121页 |
| 6.4 微喷阵列孔加工应用试验研究 | 第121-127页 |
| 6.4.1 孔径一致性控制的保障措施 | 第121-122页 |
| 6.4.2 小批量加工微喷阵列孔孔径一致性应用试验研究 | 第122-126页 |
| 6.4.3 微喷阵列孔加工技术水平分析 | 第126-127页 |
| 6.5 小尺寸微喷阵列孔加工孔径一致性的应用试验研究 | 第127-130页 |
| 6.5.1 Φ30μm 微喷阵列孔孔径一致性的加工试验研究 | 第127-128页 |
| 6.5.2 Φ20μm 微喷阵列孔孔径一致性的加工试验研究 | 第128-130页 |
| 6.6 本章小结 | 第130-131页 |
| 结论 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-142页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 个人简历 | 第145页 |
