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惯性冲击式直线电机的设计及其应用

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
注释表第13-14页
第一章 绪论第14-25页
    1.1 引言第14页
    1.2 压电驱动器的分类及特点第14-17页
        1.2.1 压电超声波驱动器第14-15页
        1.2.2 压电微位移驱动器第15-16页
        1.2.3 压电惯性冲击式驱动器第16页
        1.2.4 压电尺蠖驱动器第16-17页
    1.3 行波型旋转超声电机概述第17-20页
        1.3.1 电机结构及运行原理第17-18页
        1.3.2 行波型旋转超声电机特点第18页
        1.3.3 行波型旋转超声电机的应用第18-20页
    1.4 惯性冲击式电机概述第20-23页
        1.4.1 惯性冲击式电机的工作原理第20-21页
        1.4.2 惯性冲击式电机的研究现状第21-23页
    1.5 本课题研究的内容和意义第23-25页
第二章 压电材料与压电叠堆的特性第25-35页
    2.1 压电材料的介绍第25-29页
        2.1.1 压电效应第25-26页
        2.1.2 压电陶瓷的性质和参数第26-28页
        2.1.3 压电振子的振动模式第28-29页
    2.2 压电叠堆的基本特性第29-34页
        2.2.1 压电叠堆的结构第29-30页
        2.2.2 压电叠堆的基本特性第30-34页
        2.2.3 压电叠堆使用注意事项第34页
    2.3 本章小节第34-35页
第三章 基于超声电机的显微镜精密调焦装置第35-51页
    3.1 调焦装置结构及工作原理第35-36页
        3.1.1 调焦装置的结构第35-36页
        3.1.2 斜面位移转换原理第36页
    3.2 调焦装置的工作过程第36-37页
    3.3 驱动机构的设计第37-38页
        3.3.1 调焦装置的驱动装置第37页
        3.3.2 传动机构的设计第37-38页
    3.4 导轨的设计第38-39页
    3.5 柔性机构的设计第39-45页
        3.5.1 柔性铰链概述第39-40页
        3.5.2 直梁型柔性铰链的变形分析第40-42页
        3.5.3 柔性机构的设计第42页
        3.5.4 柔性机构的有限元分析第42-45页
    3.6 实验研究第45-50页
        3.6.1 驱动电压信号第45页
        3.6.2 实验系统组成第45-47页
        3.6.3 位移分辨率的测试第47-49页
        3.6.4 调焦装置工作性能测试第49-50页
    3.7 本章小节第50-51页
第四章 惯性冲击式直线电机第51-61页
    4.1 惯性冲击式电机的结构第51页
    4.2 惯性冲击式电机的工作过程第51-53页
    4.3 惯性冲击式电机的运动过程分析第53-54页
    4.4 压电叠堆预紧机构的设计第54-59页
        4.4.1 压电叠堆特性的测量第54-57页
        4.4.2 预紧机构的设计第57-59页
    4.5 柔性足和抱爪的设计第59-60页
    4.6 本章小结第60-61页
第五章 惯性冲击式电机实验研究第61-73页
    5.1 实验系统组成第61页
    5.2 实验仪器介绍第61-62页
    5.3 惯性冲击式电机性能测试第62-72页
        5.3.1 电机运行稳定性与驱动电压间的关系第64-66页
        5.3.2 电机运行稳定性与驱动频率间的关系第66-69页
        5.3.3 电机运行稳定性与预紧力间的关系第69页
        5.3.4 位移分辨率与驱动电压间的关系第69-71页
        5.3.5 位移分辨率与驱动频率间的关系第71-72页
    5.4 本章小结第72-73页
第六章 总结与展望第73-75页
    6.1 本文的主要工作第73页
    6.2 后续工作展望第73-75页
参考文献第75-78页
致谢第78-79页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第79页

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