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化学气相沉积法制备二维二碲化钼的研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
1 引言第11-24页
    1.1 石墨烯第12-15页
    1.2 过渡金属硫化物第15-20页
        1.2.1 过渡金属硫化物的特点第15-16页
        1.2.2 二维过渡金属硫化物的制备第16-18页
        1.2.3 过渡金属硫化物的应用第18-20页
    1.3 二碲化钼第20-22页
        1.3.1 二碲化钼结构特点第20-21页
        1.3.2 二碲化钼的带隙特点第21-22页
        1.3.3 二碲化钼的应用第22页
    1.4 本文的选题与主要研究内容第22-24页
2 实验设备、材料与表征技术第24-31页
    2.1 实验材料与设备第24-26页
        2.1.1 实验设备第24-25页
        2.1.2 自制CVD设备系统第25-26页
        2.1.3 实验材料第26页
    2.2 表征技术第26-30页
        2.2.1 光学显微镜表征第26-27页
        2.2.2 x射线光电子能谱表征技术第27-28页
        2.2.3 拉曼光谱和光致发光表征第28-29页
        2.2.4 原子力显微镜表征第29-30页
    2.3 本章小结第30-31页
3 CVD法制备二维二碲化钼第31-41页
    3.1 实验工作第31-32页
        3.1.1 清洗衬底第31页
        3.1.2 MoTe_2的生长过程第31-32页
    3.2 对于CVD法生长的MoTe_2的表征与分析第32-36页
        3.2.1 MoTe_2的光学显微镜表征第32-33页
        3.2.2 MoTe_2的XPS表征第33-34页
        3.2.3 MoTe_2的拉曼光谱表征第34-35页
        3.2.4 MoTe_2的AFM表征第35-36页
    3.3 探究不同条件对CVD法制备二碲化钼的影响第36-40页
        3.3.1 不同生长温度对于MoTe_2薄膜生长的影响第36-37页
        3.3.2 钼源与碲源用量对与MoTe_2薄膜生长的影响第37-38页
        3.3.3 不同的衬底与钼源间距对于二碲化钼生长的影响第38-40页
    3.4 本章小结第40-41页
4 二硫化钼/二碲化钼异质结第41-48页
    4.1 二维材料异质结引论第41-42页
    4.2 MoS_2/MoTe_2异质结的制备第42-45页
        4.2.1 实验材料及工具第42页
        4.2.2 利用机械剥离法制备单层二硫化钼薄膜第42-43页
        4.2.3 转移制备成MoS_2/MoTe_2异质结第43-44页
        4.2.4 MoS_2/MoTe_2异质结的层厚表征第44-45页
    4.3 二硫化钼-二碲化钼异质结的拉曼表征和光致发光表征分析第45-47页
    4.4 本章小结第47-48页
5 结论第48-49页
参考文献第49-52页
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果第52-54页
学位论文数据集第54页

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