BVO铁电薄膜电容结构的制备与性能研究

论文摘要	第1-8页
Abstract	第8-11页
第一章 绪论	第11-19页
·铁电材料的发展历史	第11-12页
·铁电薄膜的发展	第12-13页
·铁电薄膜的制备方法	第13-15页
·铁电薄膜性质的表征方法	第15-17页
·本文研究的主要内容	第17-19页
第二章 BVO铁电薄膜的制备	第19-25页
·引言	第19-21页
·BVO薄膜样品制备的流程	第21-22页
·掺杂BVO薄膜的制备流程	第22-24页
·本章小结	第24-25页
第三章 BVO薄膜微结构和表面形貌的分析	第25-35页
·引言	第25页
·BVO薄膜的XRD分析	第25-29页
·BVO薄膜表面形貌的分析	第29-34页
·本章小结	第34-35页
第四章 BVO薄膜电学性质的研究	第35-47页
·铁电存储器的结构和工作原理	第35-38页
·BVO薄膜MFS结构电学性质的研究	第38-43页
·BVO薄膜电容结构电学性质特性的研究	第43-46页
·本章小结	第46-47页
第五章 BVO薄膜的光学性质的分析	第47-56页
·BVO薄膜的椭圆偏振光谱的分析	第47-51页
·BVO薄膜的拉曼光谱的分析	第51-54页
·BVO薄膜的反射光谱的分析	第54页
·本章小结	第54-56页
第六章 总结与展望	第56-58页
参考文献	第58-62页
致谢	第62-63页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第63-64页