数字式半导体电阻率测试方法及系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·半导体电阻率测试的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·本文研究的主要内容及章节安排 | 第11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 第二章 半导体电阻率测试原理 | 第12-24页 |
| ·半导体电阻率的基本概念 | 第12-14页 |
| ·电阻率的基本概念与物理意义 | 第12页 |
| ·半导体材料电阻率的特性 | 第12-13页 |
| ·扩散层的薄层电阻 | 第13-14页 |
| ·半导体电阻率的常用测试方法 | 第14-19页 |
| ·两探针法 | 第15页 |
| ·三探针法 | 第15-16页 |
| ·四探针法 | 第16-17页 |
| ·单探针扩展电阻法 | 第17-18页 |
| ·范德堡法 | 第18-19页 |
| ·半导体电阻率的四探针测试法 | 第19-23页 |
| ·四探针测试法基本原理 | 第19-22页 |
| ·四探针法的测试电路 | 第22-23页 |
| ·四探针法测量电阻率的注意事项 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 单片机嵌入式系统设计基础 | 第24-28页 |
| ·嵌入式系统简介 | 第24-25页 |
| ·嵌入式系统的定义 | 第24页 |
| ·嵌入式系统的特点 | 第24页 |
| ·嵌入式系统的主要类型 | 第24-25页 |
| ·单片机嵌入式系统的结构及开发流程 | 第25-27页 |
| ·单片机嵌入式系统的结构 | 第25-26页 |
| ·单片机嵌入式系统的开发流程 | 第26-27页 |
| ·AVR 系列单片机介绍 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 系统硬件设计与研究 | 第28-48页 |
| ·系统硬件总体规划 | 第28-29页 |
| ·各功能模块方案解析 | 第29-47页 |
| ·MCU 最小系统 | 第29-30页 |
| ·压控恒流源方案分析 | 第30-39页 |
| ·电压AD 采集电路设计 | 第39-42页 |
| ·非共地讨论与信号隔离方案 | 第42-43页 |
| ·测量方向切换电路 | 第43-44页 |
| ·液晶显示电路 | 第44页 |
| ·键盘输入电路 | 第44-45页 |
| ·上位机通讯接口 | 第45页 |
| ·电源方案 | 第45-47页 |
| ·PCB 布局与布线 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 系统软件规划 | 第48-58页 |
| ·软件开发环境简介 | 第48-49页 |
| ·系统总体程序框架 | 第49-50页 |
| ·压控恒流源部分程序设计 | 第50-51页 |
| ·电位差采样程序设计 | 第51-56页 |
| ·模数转换器AD7705 与单片机接口设计 | 第51-53页 |
| ·数字滤波方法研究 | 第53-55页 |
| ·电位差测量量程自动调整程序设计 | 第55-56页 |
| ·人机界面程序设计 | 第56-57页 |
| ·键盘程序设计 | 第56-57页 |
| ·LCD 显示程序设计 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 系统调试及测量误差分析 | 第58-62页 |
| ·恒流源测试及误差分析 | 第58-60页 |
| ·电位差测量模块测试 | 第60-61页 |
| ·半导体样品电阻率测试 | 第61页 |
| ·测试系统整体性能 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第七章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·全文工作总结 | 第62-63页 |
| ·进一步研究与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间所做的工作 | 第68-70页 |
| 附录A 片状单晶修正系数 | 第70-72页 |
| 附录B 系统原理图 | 第72-74页 |
