光学自由曲面原位测量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第9-10页 |
| 1.2 自由曲面测量技术发展概况 | 第10-16页 |
| 1.2.1 测量方法介绍 | 第10-15页 |
| 1.2.2 测量方法比较 | 第15-16页 |
| 1.3 原位测量技术的发展 | 第16-18页 |
| 1.4 课题来源和主要内容 | 第18-19页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第18页 |
| 1.4.2 课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 原位测量系统整体方案设计 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 系统整体结构和工作原理 | 第19-20页 |
| 2.3 系统组件介绍 | 第20-26页 |
| 2.3.1 超精密车床 | 第20-22页 |
| 2.3.2 探针 | 第22-23页 |
| 2.3.3 探针轴 | 第23-24页 |
| 2.3.4 激光干涉仪 | 第24-26页 |
| 2.3.5 PMAC 卡 | 第26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 机械结构设计 | 第28-46页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 探针轴工作原理与结构设计 | 第28-31页 |
| 3.3 静压气浮导轨设计 | 第31-38页 |
| 3.3.1 气体润滑技术 | 第31-32页 |
| 3.3.2 典型节流器 | 第32-33页 |
| 3.3.3 工作原理 | 第33-35页 |
| 3.3.4 参数选择 | 第35-38页 |
| 3.4 气浮测头性能验证 | 第38-44页 |
| 3.4.1 气浮测头装配与调试 | 第38-39页 |
| 3.4.2 测头测力性能验证 | 第39-44页 |
| 3.5 底座设计 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 测量系统软件设计 | 第46-56页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 路径规划 | 第46-49页 |
| 4.2.1 测量路径 | 第46-48页 |
| 4.2.2 半径补偿 | 第48-49页 |
| 4.3 数据采集实现 | 第49-55页 |
| 4.3.1 位移数据采集 | 第50-52页 |
| 4.3.2 位置坐标采集 | 第52-54页 |
| 4.3.3 软件实现 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 自由曲面原位测量实验验证 | 第56-70页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 系统调试 | 第56-61页 |
| 5.2.1 激光干涉仪调试 | 第56-58页 |
| 5.2.2 测头对正 | 第58-61页 |
| 5.3 系统精度测试 | 第61-67页 |
| 5.3.1 静态测量 | 第61-64页 |
| 5.3.2 标准球测量 | 第64-66页 |
| 5.3.3 平面测量 | 第66-67页 |
| 5.4 自由曲面原位测量 | 第67-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 6.1 本文总结 | 第70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
