微纳米尺度金属薄膜拉伸分叉问题的研究
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第9-17页 |
1.1 微纳米薄膜拉伸分叉问题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
1.2.1 理论研究 | 第10-11页 |
1.2.2 实验研究 | 第11-13页 |
1.2.3 数值分析方面的研究 | 第13-14页 |
1.2.4 在电学方面的研究 | 第14-15页 |
1.3 本文的主要研究工作 | 第15-17页 |
第二章 金属薄膜拉伸分叉电阻演化理论 | 第17-32页 |
2.1 金属薄膜拉伸变形理论 | 第17-20页 |
2.2 金属薄膜拉伸过程中的导电性能分析 | 第20-22页 |
2.3 弹性阶段 | 第22-23页 |
2.4 均匀塑性变形阶段 | 第23-25页 |
2.5 局部化变形阶段 | 第25-30页 |
2.6 破坏阶段 | 第30-31页 |
2.7 本章小结 | 第31-32页 |
第三章 拉伸分叉实验系统的开发 | 第32-47页 |
3.1 薄膜/基底结构拉伸加载装置 | 第32-37页 |
3.1.1 拉伸加载装置的整体结构 | 第33-34页 |
3.1.2 驱动方式的选择 | 第34-35页 |
3.1.3 夹具的设计 | 第35-36页 |
3.1.4 传感器的标定 | 第36-37页 |
3.2 电阻电测法测量装置 | 第37-43页 |
3.2.1 测量电路的设计 | 第38-41页 |
3.2.2 测量装置的标定 | 第41-43页 |
3.3 数据采集系统 | 第43页 |
3.4 拉伸分叉实验系统功能的实现 | 第43-45页 |
3.5 本章小结 | 第45-47页 |
第四章 薄膜/基底结构拉伸分叉问题的实验研究 | 第47-64页 |
4.1 实验试件的设计和制备 | 第47-49页 |
4.1.1 基底和薄膜材料的选取 | 第47-48页 |
4.1.2 试件的结构设计与基底的加工 | 第48-49页 |
4.1.3 镀膜 | 第49页 |
4.2 实验的加载方式和观测方法 | 第49-50页 |
4.3 金属薄膜在拉伸载荷下的表面形貌研究 | 第50-56页 |
4.4 确定金属薄膜拉伸分叉点的研究 | 第56-59页 |
4.5 加载速率对金属薄膜拉伸分叉的影响研究 | 第59-62页 |
4.6 本章小结 | 第62-64页 |
第五章 总结与展望 | 第64-67页 |
5.1 总结 | 第64-66页 |
5.2 展望 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-72页 |
发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
致谢 | 第73页 |