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Cu2ZnSnSe4薄膜太阳能电池的磁控溅射制备工艺和性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第11-35页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 太阳能电池简介第12-21页
        1.2.1 太阳能电池的发展第12-14页
        1.2.2 太阳能电池工作原理第14-15页
        1.2.3 太阳能电池电流-电压特性第15-17页
        1.2.4 太阳能电池的分类第17-21页
    1.3 铜基薄膜太阳能电池发展情况第21-28页
        1.3.1 铜锌锡硒薄膜太阳能电池简介第22-26页
        1.3.2 太阳能电池效率分析第26-28页
    1.4 本论文研究课题的提出及研究内容第28-30页
    参考文献第30-35页
第2章 CZTSe薄膜制备及其表征方法第35-61页
    2.1 引言第35-36页
    2.2 CZTS(e)吸收层的非真空法制备第36-40页
    2.3 CZTS(e)吸收层的真空法制备第40-43页
    2.4 本论文中采用的材料制备方法第43-49页
        2.4.1 磁控溅射法制备Cu/Zn/Sn金属预制层第43-45页
        2.4.2 硒化退火制备CZTSe薄膜第45-46页
        2.4.3 快速退火过程(RTP)制备CZTSe薄膜第46-47页
        2.4.4 NaF层的制备方法第47页
        2.4.5 CZTS纳米颗粒阻挡层的制备方法第47-48页
        2.4.6 CZTSe电池器件制备方法第48-49页
    2.5 CZTSe薄膜表征方法第49-57页
    参考文献第57-61页
第3章 CZTSe薄膜的制备工艺及其性能研究第61-109页
    3.1 引言第61页
    3.2 叠层顺序对CZTSe薄膜性能影响的研究第61-73页
        3.2.1 实验方法第61-63页
        3.2.2 结果与讨论第63-72页
        3.2.3 小结第72-73页
    3.3 硒化退火过程对CZTSe薄膜性能影响的研究第73-84页
        3.3.1 前言第73页
        3.3.2 实验方法第73-74页
        3.3.3 结果与讨论第74-84页
            3.3.3.1 CZTSe薄膜硒化反应历程研究第74-78页
            3.3.3.2 RTP对CZTSe薄膜性能影响的研究第78-84页
        3.3.4 小结第84页
    3.4 NaF掺入对CZTSe薄膜性能影响的研究第84-97页
        3.4.1 前言第84-85页
        3.4.2 实验方法第85-86页
        3.4.3 结果与讨论第86-94页
            3.4.3.1 不同衬底对CZTSe薄膜形貌、结构的影响第86-87页
            3.4.3.2 不同NaF掺杂量对CZTSe薄膜性能影响第87-94页
        3.4.4 RTP与NaF掺杂第94-95页
        3.4.5 小结第95-97页
    3.5 纳米颗粒阻挡层对CZTSe/Mo接触电阻影响的研究第97-103页
        3.5.1 前言第97-98页
        3.5.2 实验方法第98页
        3.5.3 结果与讨论第98-103页
        3.5.4 小结第103页
    3.6 改进方法的综合应用第103-105页
    3.7 本章小结第105-107页
    参考文献第107-109页
第4章 CTSe薄膜的制备及其性能研究第109-119页
    4.1 前言第109页
    4.2 快速退火中温度对CTSe薄膜性能影响第109-116页
        4.2.1 实验方法第109-110页
        4.2.2 结果与讨论第110-116页
    4.3 本章小结第116-117页
    参考文献第117-119页
第5章 论文工作总结与展望第119-122页
    5.1 论文工作总结第119-120页
    5.2 论文创新性第120-121页
    5.3 论文展望第121-122页
致谢第122-123页
在读期间学术论文发表情况第123页

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