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磁化等离子体测试小腔室中等离子体鞘层结构的实验研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
1 综述第17-31页
    1.1 前言第17页
    1.2 非磁化等离子体鞘层理论简介第17-22页
        1.2.1 非磁化等离子体鞘层的形成第17-19页
        1.2.2 非磁化等离子体鞘层的简单模型及Bohm判据第19-21页
        1.2.3 预鞘第21-22页
    1.3 磁化等离子体鞘层理论简介第22-23页
    1.4 探针诊断原理第23-29页
        1.4.1 实验中的诊断方法简介第23-24页
        1.4.2 Langmuir探针第24-26页
        1.4.3 发射探针第26-29页
    1.5 本论文的研究工作第29-31页
2 实验装置及诊断系统简介第31-39页
    2.1 实验装置简介第31-33页
    2.2 线圈所产生磁场的模拟第33-35页
    2.3 本实验所用诊断设施简介第35-38页
        2.3.1 平面Langmuir探针第35-36页
        2.3.2 平面Langmuir探针收集流曲线分析第36-37页
        2.3.3 发射探针第37-38页
    2.4 本章小结第38-39页
3 等离子体状态的诊断分析第39-53页
    3.1 前言第39页
    3.2 真空室中各设施及磁场的相对位置第39-41页
    3.3 磁镜场中的等离子体状态第41-47页
        3.3.1 移除金属平板时实验区域的等离子体状态第41-44页
        3.3.2 存在金属平板时实验区域的等离子体状态第44-47页
    3.4 会切位形磁场中的等离子体状态第47-51页
        3.4.1 移除金属平板时会切场中等离子体状态第47-49页
        3.4.2 不同气压下移除金属平板时会切场中等离子体状态第49页
        3.4.3 存在金属平板时会切场中等离子体状态第49-51页
        3.4.4 不同气压下存在金属平板时会切场中等离子体状态第51页
    3.5 本章小结第51-53页
4 等离子体鞘层的诊断分析第53-69页
    4.1 前言第53页
    4.2 一些特征参量的估计第53-55页
        4.2.1 Debye长度第53-54页
        4.2.2 回旋半径第54页
        4.2.3 离子的碰撞平均自由程第54-55页
    4.3 磁场对平板悬浮电位的影响第55-56页
    4.4 平行于磁场方向的鞘层结构第56-61页
        4.4.1 悬浮鞘第56-57页
        4.4.2 离子鞘第57-59页
        4.4.3 磁场对鞘层厚度的影响第59-61页
    4.5 垂直于磁场方向的鞘层结构第61-63页
        4.5.1 金属平板悬浮放置第61页
        4.5.2 离子鞘第61-62页
        4.5.3 磁场对鞘层厚度的影响第62-63页
    4.6 会切位形磁场中的鞘层结构第63-67页
        4.6.1 不同平板偏压下会切场中的鞘层第63-65页
        4.6.2 不同气压下会切场中的鞘层第65-67页
    4.7 本章小结第67-69页
5 总结与展望第69-71页
    5.1 实验主要结果与分析第69-70页
    5.2 存在的问题和展望第70-71页
参考文献第71-73页
致谢第73-75页
攻读学位期间发表的论文列表第75页

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