| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 激光陀螺反射镜 | 第8-10页 |
| 1.1.1 激光陀螺 | 第8-9页 |
| 1.1.2 激光陀螺反射镜基片 | 第9-10页 |
| 1.2 激光陀螺反射镜基片表面疵病 | 第10-13页 |
| 1.2.1 表面疵病简介 | 第10页 |
| 1.2.2 反射镜基片表面疵病对激光陀螺锁区的影响 | 第10-12页 |
| 1.2.3 表面疵病的评价标准 | 第12-13页 |
| 1.3 表面疵病检测技术的发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 成像法 | 第14页 |
| 1.3.2 能量法 | 第14-15页 |
| 1.4 本文内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 本文主要工作 | 第15-16页 |
| 1.4.2 本文的结构安排 | 第16-17页 |
| 2 激光陀螺反射镜基片表面疵病检测系统要求与设计原理 | 第17-34页 |
| 2.1 反射镜基片基本结构与加工检测精度要求 | 第17-18页 |
| 2.1.1 反射镜基片的基本结构 | 第17页 |
| 2.1.2 反射镜基片表面加工检测精度 | 第17-18页 |
| 2.2 反射镜基片表面疵病检测精度要求的理论分析 | 第18-24页 |
| 2.2.1 表面粗糙度对背向散射率影响的理论分析 | 第18-20页 |
| 2.2.2 表面疵病对粗糙度影响的理论分析 | 第20-21页 |
| 2.2.3 表面疵病对表面背向散射率影响的数值模拟 | 第21-23页 |
| 2.2.4 表面疵病检测精度 | 第23-24页 |
| 2.2.5 系统检测要求 | 第24页 |
| 2.3 本文所用表面疵病检测系统原理 | 第24-33页 |
| 2.3.1 表面疵病的暗场散射显微成像检测原理 | 第24-26页 |
| 2.3.2 暗场散射显微成像检测的优缺点分析 | 第26-28页 |
| 2.3.3 激光单向光源显微成像拼接检测系统 | 第28-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 表面疵病扫描成像系统的设计 | 第34-53页 |
| 3.1 图像采集系统 | 第34-36页 |
| 3.1.1 CCD数字成像模块的选取 | 第34-36页 |
| 3.1.2 图像自动采集程序 | 第36页 |
| 3.2 照明系统 | 第36-39页 |
| 3.2.1 激光光源相对其他光源的优势 | 第36-37页 |
| 3.2.2 激光光源参数选择 | 第37-38页 |
| 3.2.3 表面疵病散射光成像特征分析 | 第38-39页 |
| 3.3 显微成像系统 | 第39-43页 |
| 3.3.1 显微物镜设计要求分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 显微物镜的设计方案 | 第40-41页 |
| 3.3.3 显微物镜的设计与分析 | 第41-43页 |
| 3.4 扫描运动定位系统 | 第43-51页 |
| 3.4.1 扫描定位结构的参数选取 | 第43-44页 |
| 3.4.2 扫描运动分析 | 第44-48页 |
| 3.4.3 扫描定位系统校正 | 第48-49页 |
| 3.4.4 步进电机控制系统 | 第49-51页 |
| 3.5 系统实验平台介绍 | 第51-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 表面疵病图像处理系统 | 第53-75页 |
| 4.1 疵病图像预处理 | 第53-56页 |
| 4.1.1 杂散光特征分析 | 第54-55页 |
| 4.1.2 杂散光的滤除 | 第55-56页 |
| 4.2 表面疵病图像的子孔径拼接 | 第56-60页 |
| 4.2.1 基本的表面疵病图像子孔径平移拼接 | 第56-57页 |
| 4.2.2 基于疵病特征的子孔径拼接 | 第57页 |
| 4.2.3 全口径图像拼接 | 第57-60页 |
| 4.3 表面疵病全口径图像的旋转融合 | 第60-68页 |
| 4.3.1 疵病图像旋转 | 第61-64页 |
| 4.3.2 全口径疵病图像的配准 | 第64-67页 |
| 4.3.3 全口径疵病图像的融合 | 第67-68页 |
| 4.4 表面疵病特征提取与基片合格判断 | 第68-71页 |
| 4.4.1 表面疵病特征提取 | 第68-69页 |
| 4.4.2 反射镜基片表面疵病合格判断 | 第69-71页 |
| 4.5 系统实用性分析 | 第71-74页 |
| 4.5.1 系统软界面件介绍 | 第71页 |
| 4.5.2 系统处理结果 | 第71-73页 |
| 4.5.3 系统可靠性分析 | 第73-74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 结论与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 结论 | 第75页 |
| 5.2 对未来的展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
