| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 主要符号说明 | 第13-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-39页 |
| 1.1 研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 研究现状 | 第15-38页 |
| 1.2.1 微球轴承研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 滚动轴承接触力学研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.3 硅微轴承制造工艺研究现状 | 第21-25页 |
| 1.2.4 MEMS封装研究现状 | 第25-28页 |
| 1.2.5 微球轴承滚动摩擦测试研究现状 | 第28-38页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第38-39页 |
| 第2章 微球轴承设计 | 第39-47页 |
| 2.1 引言 | 第39页 |
| 2.2 微球轴承系统设计 | 第39-40页 |
| 2.3 微球轴承气路设计 | 第40-43页 |
| 2.4 微球轴承结构关键参数设计 | 第43-45页 |
| 2.4.1 滚道设计 | 第43页 |
| 2.4.2 滚动体数目设计 | 第43-44页 |
| 2.4.3 轴承腔通气孔设计 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 微球轴承接触力学性能研究 | 第47-72页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 微球轴承接触模型 | 第47-50页 |
| 3.2.1 微球轴承接触物理模型 | 第47-48页 |
| 3.2.2 微球轴承接触有限元模型 | 第48-50页 |
| 3.3 模型验证 | 第50-51页 |
| 3.4 微球轴承不考虑摩擦的接触性能分析 | 第51-59页 |
| 3.4.1 微球—裸硅滚道的接触性能分析 | 第51-53页 |
| 3.4.2 裸硅滚道和表面涂覆薄膜的滚道与微球之间的接触性能对比 | 第53-54页 |
| 3.4.3 微球—涂覆薄膜的滚道的接触性能分析 | 第54-59页 |
| 3.5 微球轴承考虑摩擦的接触性能分析 | 第59-71页 |
| 3.5.1 摩擦系数对微球轴承接触性能的影响 | 第59-62页 |
| 3.5.2 微球—裸硅滚道的摩擦接触性能分析 | 第62-66页 |
| 3.5.3 微球—涂覆薄膜的滚道的摩擦接触性能分析 | 第66-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第4章 微球轴承制造工艺研究 | 第72-96页 |
| 4.1 引言 | 第72页 |
| 4.2 微球轴承系统加工中的关键问题 | 第72-77页 |
| 4.2.1 多特征尺寸结构的加工问题 | 第72-76页 |
| 4.2.2 轴承腔的封闭问题 | 第76-77页 |
| 4.3 微球轴承加工工艺流程 | 第77-91页 |
| 4.3.1 封盖层加工工艺流程 | 第77-81页 |
| 4.3.2 叶片层加工工艺流程 | 第81-87页 |
| 4.3.3 滚道层加工工艺流程 | 第87-89页 |
| 4.3.4 微球轴承组装与转子释放工艺流程 | 第89-91页 |
| 4.4 微球轴承掩模板设计 | 第91-95页 |
| 4.4.1 微球轴承版图图案设计 | 第91-92页 |
| 4.4.2 微球轴承版图布局 | 第92-93页 |
| 4.4.3 微球轴承光刻辅助图形设计 | 第93-95页 |
| 4.5 本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 微球轴承滚动摩擦测试系统构建 | 第96-118页 |
| 5.1 引言 | 第96页 |
| 5.2 微球轴承测试系统设计方案 | 第96-99页 |
| 5.2.1 微球轴承测试系统需求分析 | 第96-97页 |
| 5.2.2 微球轴承测试系统总体方案 | 第97-99页 |
| 5.3 微球轴承封装设计 | 第99-103页 |
| 5.3.1 封装设计原则 | 第99页 |
| 5.3.2 封装结构设计 | 第99-102页 |
| 5.3.3 封装流程 | 第102-103页 |
| 5.4 微球轴承系统滚动摩擦测试原理 | 第103-106页 |
| 5.5 测试系统设计 | 第106-117页 |
| 5.5.1 测试系统工作原理 | 第106-107页 |
| 5.5.2 硬件设计 | 第107-111页 |
| 5.5.3 软件设计 | 第111-116页 |
| 5.5.4 测试系统误差分析及解决方法 | 第116-117页 |
| 5.6 本章小结 | 第117-118页 |
| 第6章 微球轴承摩擦学特性实验研究 | 第118-127页 |
| 6.1 引言 | 第118页 |
| 6.2 微球轴承滚动摩擦实验 | 第118-123页 |
| 6.2.1 驱动流压强对转速和法向载荷的影响 | 第118-119页 |
| 6.2.2 法向载荷对摩擦转矩的影响 | 第119-120页 |
| 6.2.3 结果与讨论 | 第120-123页 |
| 6.3 微球轴承磨损失效 | 第123-126页 |
| 6.4 本章小结 | 第126-127页 |
| 结论与展望 | 第127-129页 |
| 1 论文主要内容与结论 | 第127-128页 |
| 2 论文主要贡献与创新点 | 第128页 |
| 3 未来工作展望 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-139页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第139-140页 |
| 致谢 | 第140-141页 |
| 作者简介 | 第141页 |