摘要 | 第5-7页 |
ABSTRACT | 第7-9页 |
第一章 绪论 | 第14-28页 |
1.1 引言 | 第14-15页 |
1.2 光刻材料及其印刷黄光制程与主流平板显示技术发展概述 | 第15-24页 |
1.2.1 光阻剂概述 | 第15-16页 |
1.2.2 光阻剂在显示器中的应用 | 第16-20页 |
1.2.3 OLED 显示器与触摸屏中光阻剂的应用 | 第20-21页 |
1.2.4 光阻剂在一体成型电感器中的应用 | 第21-23页 |
1.2.5 丝网印刷与光刻工艺 | 第23-24页 |
1.3 本文选题意义及主要研究内容 | 第24-28页 |
1.3.1 本文的选题意义 | 第25-26页 |
1.3.2 本文主要研究内容 | 第26-28页 |
第二章 负型光阻剂的制备及测试 | 第28-57页 |
2.1 光刻胶与光阻剂 | 第28-31页 |
2.1.1 正型光刻胶、负型光刻胶,以及负型光阻剂的区别与联系 | 第28页 |
2.1.2 OC负型光阻剂的功能及其研究现状 | 第28-29页 |
2.1.3 负型光刻胶的功能及其研究现状 | 第29-31页 |
2.2 黄光树脂的制备与表征 | 第31-39页 |
2.2.1 实验材料及仪器 | 第32页 |
2.2.2 黄光树脂的设计及合成 | 第32-37页 |
2.2.3 黄光树脂制备的结果与讨论 | 第37-39页 |
2.3 OC光阻剂和负型光刻胶配方实验设计与选择 | 第39-45页 |
2.3.1 黄光树脂设计与选择 | 第40页 |
2.3.2 含卤素产酸剂的三嗪类光产酸剂设计与选择 | 第40-41页 |
2.3.3 负型光刻胶/光阻剂中的多官能团单体分析与选择 | 第41-42页 |
2.3.4 负型光刻胶/光阻剂中光引发剂分析与选择 | 第42-44页 |
2.3.5 负型光刻胶/光阻剂中的助剂分析与选择 | 第44页 |
2.3.6 负型光刻胶/光阻剂中的有机溶剂分析与选择 | 第44-45页 |
2.4 透明绝缘OC光阻剂的制备及测试 | 第45-51页 |
2.4.1 OC光阻剂的实验材料及仪器 | 第45-46页 |
2.4.2 OC光阻剂的实验流程 | 第46-47页 |
2.4.3 OC光阻剂黄光刻蚀结果与讨论 | 第47-49页 |
2.4.4 OC光阻剂在触摸屏(TP)上的应用 | 第49-51页 |
2.5 负型光刻胶配方的制备及测试 | 第51-55页 |
2.5.1 负型光刻胶的实验材料及仪器 | 第52-53页 |
2.5.2 制作 90°形貌(profile)的光刻胶图型实验流程 | 第53页 |
2.5.3 负型光刻胶在芯片的黄光制程实验结果及讨论 | 第53-54页 |
2.5.4 负型光刻胶在LED芯片领域的黄光制程应用 | 第54-55页 |
2.6 本章小结 | 第55-57页 |
第三章 量子点彩色光阻剂的制备及其在彩色滤光片(CF)上的应用 | 第57-94页 |
3.1 量子点和量子点彩色颜料光阻剂概述 | 第57-61页 |
3.1.1 量子点的基本性质 | 第58-59页 |
3.1.2 量子点的表面效应 | 第59-60页 |
3.1.3 量子点的量子隧道效应 | 第60页 |
3.1.4 量子点的库仑阻塞效应 | 第60-61页 |
3.1.5 量子点彩色颜料光阻剂在液晶显示器中的应用 | 第61页 |
3.2 彩色光阻剂当中的纳米有机颜料设计与选择 | 第61-67页 |
3.2.1 有机颜料的化学结构特性 | 第62-63页 |
3.2.2 有机颜料粒径对基本参数的影响 | 第63-64页 |
3.2.3 有机颜料的晶型及特性 | 第64页 |
3.2.4 纳米颜料衍生物的特性 | 第64页 |
3.2.5 纳米颜料的表面处理 | 第64-65页 |
3.2.6 纳米颜料制作的分散液 | 第65-66页 |
3.2.7 纳米颜料的分散理论 | 第66-67页 |
3.3 纳米有机颜料及颜料衍生物的分散浆的制备 | 第67-73页 |
3.3.1 制备有机颜料分散浆的实验材料与仪器 | 第67页 |
3.3.2 有机颜料分散浆的实验流程 | 第67-70页 |
3.3.3 有机颜料分散浆的结果与讨论 | 第70-73页 |
3.4 彩色光阻剂的制备 | 第73-81页 |
3.4.1 彩色光阻剂的实验材料与仪器 | 第73-75页 |
3.4.2 彩色光阻剂的实验流程 | 第75页 |
3.4.3 R、G、B彩色光阻剂的测试及表征 | 第75-81页 |
3.5 量子点颜料分散浆的制备 | 第81-85页 |
3.5.1 制备量子点颜料分散浆的实验材料与仪器 | 第82页 |
3.5.2 量子点颜料分散浆的实验流程 | 第82-83页 |
3.5.3 量子点颜料分散浆的实验结果与讨论 | 第83-85页 |
3.6 量子点光阻剂的制备 | 第85-92页 |
3.6.1 量子点光阻剂的实验材料与仪器 | 第86-87页 |
3.6.2 量子点用黄光树脂和光阻剂的实验流程 | 第87-88页 |
3.6.3 量子点光阻剂用黄光树脂的结果与讨论 | 第88-90页 |
3.6.4 量子点彩色滤光片的制备及封装 | 第90-92页 |
3.7 本章小结 | 第92-94页 |
第四章 PoPD分散纳米金/银球、纳米银光阻剂的制备及测试 | 第94-117页 |
4.1 纳米金/银等导电粉体概述 | 第94-98页 |
4.1.1 分散导电粉末机理及其影响因素 | 第94-95页 |
4.1.2 团聚纳米(亚微米)的金球/银粉颗粒固相体积分数与三维间距离的关系 | 第95-97页 |
4.1.3 导电膜的导电性能与工艺过程对应关系 | 第97页 |
4.1.4 金纳米颗粒修饰的PoPD中空微球的形成机理 | 第97-98页 |
4.2 修饰有金纳米粒子的聚(邻苯二胺)空心微球的制备,及其在多巴胺检测中的应用 | 第98-105页 |
4.2.1 聚邻苯二胺(PoPD)及分散纳米金球的研究背景 | 第98-99页 |
4.2.2 PoPD分散纳米金球的应用 | 第99页 |
4.2.3 PoPD分散纳米金球的实验材料 | 第99页 |
4.2.4 PoPD分散纳米金球的实验流程 | 第99-100页 |
4.2.5 PoPD分散纳米金球的结果与讨论 | 第100-105页 |
4.3 纳米银光阻剂的制备 | 第105-110页 |
4.3.1 纳米银光阻剂的研究背景 | 第105-106页 |
4.3.2 实验材料与仪器 | 第106页 |
4.3.3 实验流程 | 第106-107页 |
4.3.4 结果与讨论 | 第107-110页 |
4.4 纳米银光阻剂的丝网印刷加光刻试验 | 第110-115页 |
4.4.1 实验材料与仪器 | 第110页 |
4.4.2 实验流程 | 第110-111页 |
4.4.3 结果与讨论 | 第111-112页 |
4.4.4 纳米银光阻剂在触摸屏及电感器中的应用 | 第112-115页 |
4.5 本章小结 | 第115-117页 |
第五章 纳米陶瓷光阻剂的制备及其在一体式电感器中的应用 | 第117-130页 |
5.1 纳米陶瓷材料和电感器 | 第117-121页 |
5.1.1 电感器当中的陶瓷材料 | 第117-119页 |
5.1.2 用于电感器的纳米陶瓷粉料特性 | 第119-120页 |
5.1.3 制作纳米陶瓷光阻剂对粉料的基本要求 | 第120-121页 |
5.2 纳米陶瓷光阻剂复合材料的制备 | 第121-123页 |
5.2.1 纳米陶瓷光阻剂的实验材料及仪器 | 第121-122页 |
5.2.2 纳米陶瓷光阻剂的实验流程 | 第122页 |
5.2.3 结果与讨论 | 第122-123页 |
5.3 纳米陶瓷光阻剂在片式电感器的丝网印刷及立体多层套刻 | 第123-128页 |
5.3.1 陶瓷基材上的纳米陶瓷光阻剂的光刻工艺 | 第123-125页 |
5.3.2 对纳米陶瓷光阻剂的的叠层复晒考察 | 第125-126页 |
5.3.3 立体对位套刻纳米陶瓷光阻剂和纳米银浆光阻剂 | 第126-128页 |
5.4 本章小结 | 第128-130页 |
总结 | 第130-134页 |
本论文创新之处 | 第134-135页 |
研究展望 | 第135-136页 |
附表一 | 第136-137页 |
参考文献 | 第137-150页 |
攻读学位期间发表的论文及专利 | 第150-151页 |
致谢 | 第151-152页 |
附件 | 第152页 |