| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 光学超振荡现象 | 第10-11页 |
| 1.3 超振荡器件国内外研究现状 | 第11-19页 |
| 1.4 存在的问题 | 第19页 |
| 1.5 研究内容及研究目标 | 第19-20页 |
| 1.6 本章小结 | 第20-22页 |
| 2 线偏振光超振荡聚焦相关理论 | 第22-28页 |
| 2.1 线偏振光 | 第22页 |
| 2.2 光衍射的角谱理论 | 第22-25页 |
| 2.2.1 标量衍射理论 | 第22-24页 |
| 2.2.2 矢量角谱衍射理论 | 第24-25页 |
| 2.3 粒子群优化算法 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 3 线偏振光超振荡聚焦器件设计与仿真 | 第28-42页 |
| 3.1 基于粒子群优化算法和矢量角谱衍射的超振荡设计方法 | 第28-30页 |
| 3.2 二值振幅和二值相位线偏振光聚焦器件模型 | 第30-31页 |
| 3.3 线偏振光超振荡器件优化和仿真 | 第31-40页 |
| 3.3.1 线偏振超振荡聚焦器件优化 | 第31-34页 |
| 3.3.2 线偏振超振荡器件COMSOL仿真 | 第34-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 4 线偏振光超振荡器件的加工与测试 | 第42-60页 |
| 4.1 线聚焦超振荡器件加工制备 | 第42-51页 |
| 4.1.1 亚波长金属-介质条形结构工艺 | 第42-49页 |
| 4.1.2 透镜的结构参数和版图绘制 | 第49-50页 |
| 4.1.3 二值振幅相位调控的线聚焦超振荡器件制备 | 第50-51页 |
| 4.2 透镜扫描电镜表征 | 第51-52页 |
| 4.3 线聚焦超振荡器件光场实验测试 | 第52-59页 |
| 4.3.1 超振荡测试方法 | 第52-53页 |
| 4.3.2 超振荡器件测试系统 | 第53-55页 |
| 4.3.3 实验测试过程 | 第55-56页 |
| 4.3.4 实验测试结果及误差分析 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 工作总结和展望 | 第60-62页 |
| 5.1 工作总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68-76页 |
| A. 作者在攻读硕士期间发表的论文 | 第68页 |
| B. 线偏振光超振荡聚焦器件结构参数 | 第68-76页 |