| 致谢 | 第6-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 缩略词表 | 第13-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-65页 |
| 1.1 研究动机和研究意义 | 第20-22页 |
| 1.1.1 研究动机 | 第20-21页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第21-22页 |
| 1.2 薄膜体声波谐振器的研究背景 | 第22-35页 |
| 1.2.1 薄膜体声波谐振器的发展起源 | 第22-31页 |
| 1.2.2 薄膜体声波谐振器的通信领域发展空间 | 第31-35页 |
| 1.3 基于薄膜体声波谐振器的振荡器研究背景 | 第35-40页 |
| 1.4 基于薄膜体声波谐振器的传感系统研究背景 | 第40-50页 |
| 1.4.1 FBAR质量传感器 | 第40-45页 |
| 1.4.2 FBAR压力传感器 | 第45-46页 |
| 1.4.3 FBAR惯性传感器(加速度传感器) | 第46-47页 |
| 1.4.4 FBAR温度传感器 | 第47-50页 |
| 1.5 研究内容和论文结构 | 第50-63页 |
| 1.5.1 研究思路 | 第50-54页 |
| 1.5.2 技术路线 | 第54-59页 |
| 1.5.3 论文主要工作成果 | 第59-60页 |
| 1.5.4 论文主要创新点 | 第60-62页 |
| 1.5.5 论文的章节安排 | 第62-63页 |
| 1.6 本章小结 | 第63-65页 |
| 第二章 薄膜体声波谐振器的制备工艺和设计流片 | 第65-136页 |
| 2.1 薄膜体声波谐振器器件的自行制备 | 第65-95页 |
| 2.1.1 薄膜体声波谐振器制备工艺 | 第65-72页 |
| 2.1.2 薄膜体声波谐振器设计和参数仿真 | 第72-81页 |
| 2.1.3 薄膜体声波谐振器外协剑桥大学流片结果和测试 | 第81-91页 |
| 2.1.4 薄膜体声波谐振器自主流片结果和测试 | 第91-95页 |
| 2.2 薄膜体声波谐振器等效电路模型 | 第95-106页 |
| 2.2.1 基本等效电路模型 | 第95-100页 |
| 2.2.2 薄膜体声波谐振器的实际等效电路模型 | 第100-104页 |
| 2.2.3 基于MBVD模型的实际薄膜体声波谐振器的等效电路模型建立方法 | 第104-106页 |
| 2.3 基于HPMD-7904 FBAR双工器的单片薄膜体声波谐振器的分离 | 第106-134页 |
| 2.3.1 单片FBAR分离的原因 | 第106-112页 |
| 2.3.2 基于聚焦离子束切割的单片FBAR分离 | 第112-118页 |
| 2.3.3 分离单片FBAR的模型和仿真 | 第118-124页 |
| 2.3.4 分离单片FBAR的测试结果 | 第124-134页 |
| 2.4 本章小结 | 第134-136页 |
| 第三章 基于自适应阻抗近似匹配技术的高功率低相噪FBAR振荡器的研制 | 第136-188页 |
| 3.1 基于自适应阻抗近似匹配方法的FBAR温度补偿技术的硬件和虚拟仪器测试匹配软件的实现 | 第136-155页 |
| 3.1.1 FBAR温度实验 | 第136-139页 |
| 3.1.2 自适应阻抗近似匹配技术 | 第139-146页 |
| 3.1.3 FBAR自适应阻抗近似匹配技术的硬件实现和虚拟仪器测试匹配软件的实现 | 第146-154页 |
| 3.1.4 小结 | 第154-155页 |
| 3.2 基于CMOS工艺的低相位噪声FBAR振荡器的设计(基于仿真FBAR模型) | 第155-163页 |
| 3.2.1 技术方案 | 第155-159页 |
| 3.2.2 仿真分析 | 第159-160页 |
| 3.2.3 优化方案 | 第160-162页 |
| 3.2.4 相位噪声 | 第162-163页 |
| 3.3 基于高Q值FBAR的高功率、低相位噪声振荡器(基于分离FBAR模型). | 第163-174页 |
| 3.3.1 技术方案和系统仿真 | 第163-166页 |
| 3.3.2 实际电路设计和实测结果 | 第166-171页 |
| 3.3.3 FBAR振荡器温度特性 | 第171-174页 |
| 3.3.4 小结 | 第174页 |
| 3.4 基于阻抗近似匹配方法的FBAR振荡器温度补偿技术 | 第174-184页 |
| 3.4.1 FBAR振荡器温度补偿方法 | 第174页 |
| 3.4.2 FBAR振荡器温度补偿电路的仿真 | 第174-177页 |
| 3.4.3 FBAR振荡器温度补偿电路的实现 | 第177-181页 |
| 3.4.4 FBAR振荡器温度补偿电路的测试结果 | 第181-184页 |
| 3.4.5 小结 | 第184页 |
| 3.5 本章小结 | 第184-188页 |
| 第四章 基于薄膜体声波谐振器的无线传感器集成系统 | 第188-270页 |
| 4.1 FBAR射频传感电路技术和信号处理方法 | 第188-193页 |
| 4.1.1 双路差分测量方法 | 第188-190页 |
| 4.1.2 分频法结构 | 第190-191页 |
| 4.1.3 混频法结构 | 第191-193页 |
| 4.2 计数法的设计与实现——FPGA平台和ASIC平台 | 第193-208页 |
| 4.2.1 基于计数法的FBAR射频传感信号处理电路的设计 | 第193-196页 |
| 4.2.2 FBAR射频传感信号的计数法处理——基于FPGA平台的设计与实现 | 第196-207页 |
| 4.2.3 FBAR射频传感信号的计数法处理——基于自主流片的专用集成电路平台的设计与实现 | 第207-208页 |
| 4.3 混频法的设计与实现——高精度四混频器结构 | 第208-227页 |
| 4.3.1 方案优势 | 第208-209页 |
| 4.3.2 技术路线 | 第209-219页 |
| 4.3.3 电路仿真 | 第219-223页 |
| 4.3.4 实际电路设计与实现 | 第223-225页 |
| 4.3.5 实测结果 | 第225-227页 |
| 4.4 FBAR无线传感终端节点的多级节能控制技术 | 第227-240页 |
| 4.4.1 方案优势 | 第227-228页 |
| 4.4.2 技术路线 | 第228-237页 |
| 4.4.3 实际电路设计与实现 | 第237-240页 |
| 4.5 基于薄膜体声波谐振器的无线传感集成系统的设计与实现 | 第240-267页 |
| 4.5.1 基于FBAR技术的无线传感集成系统之一——FPGA平台的计数法模式的实现 | 第240-249页 |
| 4.5.2 基于FBAR技术的无线传感集成系统之二——ASIC平台的计数法模式的实现 | 第249-257页 |
| 4.5.3 基于FBAR技术的无线传感集成系统之三——四混频器结构的混频法模式的实现 | 第257-262页 |
| 4.5.4 基于FBAR技术的无线传感集成系统之四——低功耗四混频器结构的混频法模式的实现 | 第262-267页 |
| 4.6 本章小结 | 第267-270页 |
| 第五章 总结和展望 | 第270-274页 |
| 5.1 总结 | 第270-271页 |
| 5.2 论文的不足之处和进一步研究工作 | 第271-274页 |
| 参考文献 | 第274-291页 |
| 作者简历 | 第291-292页 |
| 基本信息 | 第291页 |
| 教育状况和工作经历 | 第291页 |
| 研究兴趣和联系方式 | 第291-292页 |
| 作者在攻读博士学位期间所取得的科研成果 | 第292页 |
| 作为第一作者的已发表文章 | 第292页 |
| 作为第一作者的已授权发明型专利 | 第292页 |
