| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第12-15页 |
| 1.2 CVD金刚石材料的特性 | 第15-16页 |
| 1.3 CVD金刚石的加工技术研究现状与分析 | 第16-19页 |
| 1.3.1 CVD金刚石膜加工方法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 CVD金刚石厚膜刀具研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 CVD金刚石微铣刀制备工艺分析 | 第20-30页 |
| 2.1 金刚石微细铣刀加工机床和测试系统 | 第20-24页 |
| 2.1.1 刀具刃磨加工机床 | 第20-21页 |
| 2.1.2 刀具底刃制备与刃磨机床 | 第21-22页 |
| 2.1.3 测试系统选择 | 第22-24页 |
| 2.2 CVD金刚石微铣刀的制作 | 第24-25页 |
| 2.2.1 刀体材料和CVD金刚石厚膜刀具的预成形 | 第24-25页 |
| 2.2.2 固定方式 | 第25页 |
| 2.3 传统的底刃制备方式 | 第25-27页 |
| 2.3.1 刃倾角成形方式 | 第25-26页 |
| 2.3.2 底刃后角成形方式 | 第26-27页 |
| 2.4 研磨法制备底刃 | 第27-29页 |
| 2.4.1 刀具夹具的设计 | 第27-28页 |
| 2.4.2 底刃制备方式 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 CVD金刚石微铣刀化学机械刃磨试验 | 第30-50页 |
| 3.1 CVD金刚石微铣刀化学机械刃磨试验方案 | 第30-31页 |
| 3.1.1 试验准备和磨盘的选择 | 第30-31页 |
| 3.1.2 试验方案 | 第31页 |
| 3.2 铜基碳化钨盘刃磨试验准备 | 第31-33页 |
| 3.3 铜基碳化钨盘刃磨试验结果与分析 | 第33-42页 |
| 3.3.1 试验数据与分析 | 第33-37页 |
| 3.3.2 CVD金刚石磨削后表面质量分析 | 第37-39页 |
| 3.3.3 CVD金刚石微细铣刀刃口形貌分析 | 第39-41页 |
| 3.3.4 CVD金刚石微细铣刀刃口破坏分析 | 第41-42页 |
| 3.4 铜基碳化钨盘刃磨机理分析 | 第42-43页 |
| 3.5 铝基碳化硅盘刃磨试验 | 第43-48页 |
| 3.5.1 试验参数 | 第44页 |
| 3.5.2 试验数据结果与分析 | 第44-47页 |
| 3.5.3 试验结果与分析 | 第47-48页 |
| 3.5.4 铝基碳化硅盘刃磨过程及机理分析 | 第48页 |
| 3.6 两种复合磨盘刃磨效果评价 | 第48-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 CVD金刚石微铣刀制备成形试验 | 第50-62页 |
| 4.1 CVD金刚石微铣刀底刃抛光成形方法 | 第50-53页 |
| 4.1.1 实验原理 | 第50-52页 |
| 4.1.2 实验方案 | 第52-53页 |
| 4.2 CVD金刚石微铣刀铁盘抛光试验 | 第53-57页 |
| 4.2.1 抛光工艺参数安排 | 第53页 |
| 4.2.2 试验结果与分析 | 第53-57页 |
| 4.2.3 铁盘抛光效果评价 | 第57页 |
| 4.3 大颗粒度金刚石砂轮抛光成形试验 | 第57-61页 |
| 4.3.1 大颗粒度金刚石砂轮抛光试验设计 | 第57页 |
| 4.3.2 大颗粒度砂轮机械抛光效果评价 | 第57-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第68页 |