| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 透明导电薄膜（TCO）的概述 | 第11-13页 |
| 1.2 SnO_2薄膜的研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3 SnO_2薄膜的结构及导电机理 | 第15-17页 |
| 1.3.1 SnO_2薄膜的结构特点 | 第15-16页 |
| 1.3.2 SnO_2薄膜的导电机理 | 第16-17页 |
| 1.4 TiO_2薄膜的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.5 TiO_2薄膜的结构及导电机理 | 第19-21页 |
| 1.6 TCO薄膜的制备方法 | 第21-26页 |
| 1.6.1 喷雾热分解法 | 第22页 |
| 1.6.2 化学气相沉积法 | 第22-23页 |
| 1.6.3 磁控溅射法 | 第23-24页 |
| 1.6.4 脉冲激光沉积法（PLD） | 第24-25页 |
| 1.6.5 溶胶-凝胶法 | 第25-26页 |
| 1.7 TCO透明导电薄膜的应用 | 第26-29页 |
| 1.7.1 电气及光学器件上的应用 | 第26-27页 |
| 1.7.2 薄膜太阳能电池中的应用 | 第27-28页 |
| 1.7.3 建筑领域中的应用 | 第28页 |
| 1.7.4 军事上的应用 | 第28-29页 |
| 1.7.5 其他领域 | 第29页 |
| 1.8 本论文研究的意义及主要内容 | 第29-31页 |
| 第二章 溶胶凝胶法制备薄膜的实验原理、过程及方法 | 第31-37页 |
| 2.1 溶胶凝胶法制备SnO_2和TiO_2薄膜的反应原理 | 第31-32页 |
| 2.1.1 溶胶凝胶法制备SnO_2反应原理 | 第31页 |
| 2.1.2 溶胶凝胶法制备TiO_2反应原理 | 第31-32页 |
| 2.2 实验试剂及仪器 | 第32-33页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第32页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第32-33页 |
| 2.3 玻璃基体的清洗 | 第33页 |
| 2.4 涂膜方式 | 第33-34页 |
| 2.5 薄膜的干燥及热处理过程 | 第34-35页 |
| 2.5.1 溶胶膜的干燥 | 第34页 |
| 2.5.2 凝胶膜的热处理 | 第34-35页 |
| 2.6 薄膜测试方法 | 第35-37页 |
| 2.6.1 X射线粉末衍射(XRD) | 第35页 |
| 2.6.2 扫描电镜（SEM） | 第35页 |
| 2.6.3 X射线光电子能谱仪（XPS） | 第35页 |
| 2.6.4 紫外可见分光光度计（UV-Vis） | 第35页 |
| 2.6.5 四探针测试仪 | 第35-37页 |
| 第三章 SnO_2:F薄膜的制备与性能表征 | 第37-50页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 SnO_2:F薄膜的制备 | 第37-38页 |
| 3.3 SnO_2:F薄膜的结构和性能表征 | 第38-48页 |
| 3.3.1 SnO_2:F薄膜的结构和组成分析 | 第38-42页 |
| 3.3.2 SnO_2:F薄膜的表面形貌分析 | 第42-44页 |
| 3.3.3 SnO_2:F薄膜的光学性能分析 | 第44-46页 |
| 3.3.4 SnO_2:F薄膜的电学性能分析 | 第46-48页 |
| 3.4 结论 | 第48-50页 |
| 第四章 TiO_2:Nb薄膜的制备与性能表征 | 第50-69页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 TiO_2:Nb薄膜的制备 | 第50-52页 |
| 4.3 TiO_2:Nb薄膜的结构及性能表征 | 第52-67页 |
| 4.3.1 TiO_2:Nb薄膜的结构和组成分析 | 第52-58页 |
| 4.3.2 TiO_2:Nb薄膜的表面形貌分析 | 第58-60页 |
| 4.3.3 TiO_2:Nb薄膜的光学性能分析 | 第60-63页 |
| 4.3.4 TiO_2:Nb薄膜的电学性能分析 | 第63-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-80页 |
| 作者简历 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |