| 中文摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-13页 |
| 符号说明 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 研究背景、意义与研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 基本理论及实验与计算方法 | 第21-32页 |
| 2.1 光波导结构与基本原理 | 第22-24页 |
| 2.2 光波导的制备方法 | 第24-26页 |
| 2.3 波导性能测试及模拟计算方法 | 第26-29页 |
| 参考文献 | 第29-32页 |
| 第三章 碳化硅单晶中的平面与脊型波导特性研究 | 第32-40页 |
| 3.1 离子辐照与飞秒激光刻蚀4H-SiC晶体脊型光波导 | 第33-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 第四章 载能离子束辐照与精密金刚石刀切割无序晶体的波导特性研究 | 第40-53页 |
| 4.1 碳离子辐照与精密金刚石刀切割Nd：CNGG晶体光波导的导波特性研究 | 第41-46页 |
| 4.2 碳离子注入与精密金刚石刀切割黄长石晶体光波导的导波特性研究 | 第46-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第五章 总结 | 第53-56页 |
| 5.1 主要结果 | 第54-55页 |
| 5.2 主要创新点 | 第55-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及获得的奖励 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附两篇已发表论文 | 第59-69页 |
| 附件 | 第69页 |
