| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-30页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 阻变存储器的发展现状与面临的问题 | 第9-19页 |
| 1.2.1 阻变存储器的基本结构 | 第9-10页 |
| 1.2.2 阻变存储器的主要阻变机理 | 第10-13页 |
| 1.2.3 提高阻变存储器（RRAM）性能的研究现状与存在问题 | 第13-19页 |
| 1.3 TiO_2阻变存储器的发展现状及存在问题 | 第19-27页 |
| 1.3.1 TiO_2阻变存储器的研究及其发展现状 | 第19-25页 |
| 1.3.2 TiO_2阻变存储器的存在问题分析 | 第25-27页 |
| 1.4 本课题的提出和研究内容 | 第27-30页 |
| 1.4.1 研究意义和思路 | 第27-28页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第28-30页 |
| 2 TiO_2基MIM薄膜器件的制备和表征 | 第30-34页 |
| 2.1 实验材料 | 第30-31页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第30页 |
| 2.1.2 实验仪器和设备 | 第30-31页 |
| 2.2 样品的制备方法及其工艺流程 | 第31-32页 |
| 2.2.1 胶体的配备和薄膜器件的制备过程 | 第31-32页 |
| 2.2.2 薄膜样品的电极制作 | 第32页 |
| 2.3 薄膜样品的测试与表征 | 第32-34页 |
| 2.3.1 X射线衍射表征(XRD) | 第32-33页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜显微表征（SEM） | 第33页 |
| 2.3.3 器件单元电学性能和阻变特性测试 | 第33-34页 |
| 3 TiO_2和TIO、TNO器件的阻变特性及其机理分析 | 第34-62页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 TiO_2阻变器件阻变特性及其机理分析 | 第34-39页 |
| 3.2.1 TiO_2阻变器件的阻变特性研究 | 第34-38页 |
| 3.2.2 TiO_2阻变器件的阻变机理研究 | 第38-39页 |
| 3.3 TIO薄膜器件的电学特性及其机理分析 | 第39-48页 |
| 3.3.1 TIO薄膜器件的电学特征研究 | 第39-43页 |
| 3.3.2 TIO薄膜器件内部载流子传输方式研究 | 第43-48页 |
| 3.4 TNO薄膜器件的电学特性及其机理分析 | 第48-60页 |
| 3.4.1 TNO薄膜器件的电学特性研究 | 第48-52页 |
| 3.4.2 TNO薄膜器件内部载流子传输方式研究 | 第52-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 4 TINO器件的阻变特性研究及其机理分析 | 第62-74页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 TINO阻变器件的阻变特性研究 | 第62-66页 |
| 4.3 TINO阻变器件的阻变机理研究 | 第66-73页 |
| 4.3.1 TINO阻变器件的载流子传导机制及其机理分析 | 第66-69页 |
| 4.3.2 TINO阻变器件在不同set电压下的阻变性能研究分析 | 第69-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 5 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-86页 |
| 硕士期间发表论文情况 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
