| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 本文的研究背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10页 |
| 1.2 光谱仪及其微型化的发展及研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 MEMS扫描微镜及光栅技术的发展现状及趋势 | 第12-14页 |
| 1.3.1MEMS扫描微镜的现状及趋势 | 第12-13页 |
| 1.3.2 光栅技术的发展及趋势 | 第13-14页 |
| 1.4 本文的主要工作及论文组织结构 | 第14-15页 |
| 1.5 本章小结 | 第15-16页 |
| 2 基于MEMS光学微镜的光谱仪理论研究 | 第16-25页 |
| 2.1 MEMS微镜简介 | 第16-17页 |
| 2.2 光谱技术概述 | 第17-18页 |
| 2.3 光栅简介 | 第18-21页 |
| 2.4 常用的光谱仪的光路结构模型 | 第21-23页 |
| 2.4.1 迈克尔逊干涉仪光路 | 第21页 |
| 2.4.2 改进的迈克尔逊光路 | 第21-23页 |
| 2.4.3 利特罗式光路 | 第23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 需求分析与系统设计 | 第25-36页 |
| 3.1 光学系统需求分析 | 第25-26页 |
| 3.1.1 应用价值和特点 | 第25-26页 |
| 3.1.2 可行性分析 | 第26页 |
| 3.2 光学系统功能总体设计 | 第26-27页 |
| 3.3 光学系统主要光路设计 | 第27-28页 |
| 3.4 光学系统中光源部分的器件选择 | 第28-29页 |
| 3.5 光学系统中MEMS微镜的选择 | 第29-31页 |
| 3.5.1 MEMS微镜的结构与工作原理 | 第30-31页 |
| 3.5.2 MEMS微镜的光学性质 | 第31页 |
| 3.6 闪耀光栅的选择 | 第31-32页 |
| 3.7 探测器的选择 | 第32-35页 |
| 3.8 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 光学系统的实现 | 第36-48页 |
| 4.1 光学系统主要光路的软件仿真 | 第36-37页 |
| 4.2 MEMS驱动电路及反向器的实现 | 第37-40页 |
| 4.3 光学系统搭建中心点位置分析 | 第40-42页 |
| 4.3.1 凹面镜的中心点位置分析 | 第40-41页 |
| 4.3.2 闪耀光栅的中心点位置分析 | 第41页 |
| 4.3.3 探测器的中心点位置分析 | 第41-42页 |
| 4.4 光学系统搭建的光路调节 | 第42-47页 |
| 4.4.1 主要及次要光路调整 | 第42-44页 |
| 4.4.2 外接设备调整 | 第44-46页 |
| 4.4.3 整体微调 | 第46-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 光学系统测试与分析 | 第48-62页 |
| 5.1 测试仪器DS 5022M简介 | 第48页 |
| 5.2 测试软件UltraScope及其基本配置 | 第48-50页 |
| 5.3 系统测量及分析 | 第50-54页 |
| 5.3.1 红光下不同电压间对比 | 第50-52页 |
| 5.3.2 紫光下不同电压间对比 | 第52-54页 |
| 5.3.3 二种光源同一电压下对比 | 第54页 |
| 5.4 系统性能分析 | 第54-57页 |
| 5.5 系统应用实验 | 第57-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-65页 |
| 6.1 总结 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 1.系统整体图 | 第68-69页 |
| 2.部分实验数据表 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |