| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·微纳米技术概述 | 第12-13页 |
| ·微纳米结构及其加工技术研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第14-15页 |
| ·本课题的研究内容和研究成果 | 第15-17页 |
| 第二章 微加工技术及工作原理 | 第17-28页 |
| ·LIGA技术 | 第17-18页 |
| ·激光微加工技术 | 第18-22页 |
| ·激光打孔 | 第18-20页 |
| ·准分子激光加工技术 | 第20-21页 |
| ·其他激光微加工方法 | 第21-22页 |
| ·微纳米压印技术 | 第22-24页 |
| ·电化学微加工制备技术 | 第24-28页 |
| ·局域电化学沉积原理 | 第25页 |
| ·电化学微加工方法及其分类 | 第25-26页 |
| ·基于微探针的电化学微加工技术新发展 | 第26-28页 |
| 第三章 利用毛细管微探针的微结构制备技术及系统研制 | 第28-44页 |
| ·利用毛细管微探针的微结构制备方法 | 第28-30页 |
| ·毛细管微探针的设计制作 | 第30-31页 |
| ·电化学微加工核心单元 | 第31-33页 |
| ·电解液及基底材料的选择 | 第31-32页 |
| ·外加电压控制电路设计 | 第32-33页 |
| ·步进扫描与移动控制系统 | 第33-37页 |
| ·Z向一维步进平移台设计 | 第34-35页 |
| ·XY面二维步进扫描台设计 | 第35-36页 |
| ·步进电机驱动器 | 第36-37页 |
| ·CCD显微监控系统 | 第37-38页 |
| ·计算机软硬件 | 第38-44页 |
| ·D/A控制结构 | 第38-40页 |
| ·视频采集卡 | 第40-41页 |
| ·软件开发 | 第41-44页 |
| 第四章 微结构制备技术的参数选择及性能优化研究 | 第44-58页 |
| ·微探针对微加工制备的影响 | 第44-47页 |
| ·微探针针尖与微结构尺寸的关系 | 第44-45页 |
| ·毛细管对微结构加工精度和表面质量的改善作用 | 第45-47页 |
| ·电化学微加工工艺参数的优化 | 第47-52页 |
| ·两极之间加工间隙的初始化设定 | 第47-48页 |
| ·电解液及基底材料的选配 | 第48-49页 |
| ·电流密度及加工电压对工艺指标的影响 | 第49-52页 |
| ·微探针步进移动的优化控制 | 第52-56页 |
| ·步进移动的稳定性对结果的影响 | 第52-54页 |
| ·步进脉冲周期对微结构制备的影响 | 第54-56页 |
| ·其他影响因素 | 第56-58页 |
| 第五章 利用毛细管微探针的微结构制备实验研究 | 第58-68页 |
| ·微结构制备过程的CCD实时显微监控 | 第58-59页 |
| ·基于单探针的铜微柱制备实验 | 第59-62页 |
| ·基于双探针的微结构加工 | 第62-64页 |
| ·微电极阵列的制备 | 第64-67页 |
| ·ITO基底上的线状微结构制备 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·研究工作总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者简历 | 第75页 |
| 硕士在读期间发表论文 | 第75页 |