| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-11页 |
| 1.2 CO_2激光修复技术 | 第11-14页 |
| 1.2.1 CO_2激光修复机理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 CO_2激光修复存在的问题 | 第12-14页 |
| 1.3 CO_2激光修复点对光传输产生的影响 | 第14-18页 |
| 1.3.1 光场调制增强效应产生的原因 | 第14页 |
| 1.3.2 抑制光场调制增强效应国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.3 研究现状总结与分析 | 第17-18页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 修复点对下游光传输影响的理论模型 | 第19-31页 |
| 2.1 标量衍射理论 | 第19-25页 |
| 2.1.1 基尔霍夫公式 | 第20-21页 |
| 2.1.2 瑞利-索末菲公式 | 第21页 |
| 2.1.3 衍射的角谱传播公式 | 第21-23页 |
| 2.1.4 菲涅尔衍射积分 | 第23-25页 |
| 2.2 数值计算方法 | 第25-28页 |
| 2.2.1 菲涅尔衍射积分S-FFT算法 | 第25-27页 |
| 2.2.2 菲涅尔衍射积分D-FFT算法 | 第27-28页 |
| 2.3 修复点对下游光传输影响的理论模型建立 | 第28-30页 |
| 2.4 小结 | 第30-31页 |
| 第三章 非蒸发式修复点形貌对光传输产生的影响 | 第31-42页 |
| 3.1 非蒸发式修复点数值模型建立 | 第31-33页 |
| 3.1.1 非蒸发式修复点形貌特征分析 | 第32页 |
| 3.1.2 非蒸发式修复点三维数值模型建立 | 第32-33页 |
| 3.2 非蒸发式修复点对光传输的调制影响的数值模拟 | 第33-37页 |
| 3.2.1 修复点熔融坑区域对光传输的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.2 修复点边缘凸起形貌对光传输的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.3 数值模拟结果讨论 | 第36-37页 |
| 3.3 数值模拟结果实验验证 | 第37-39页 |
| 3.3.1 实验结果与数值模拟结果对比分析 | 第38-39页 |
| 3.3.2 讨论 | 第39页 |
| 3.4 修复点分布位置对调制光场分布的影响 | 第39-40页 |
| 3.5 小结 | 第40-42页 |
| 第四章 蒸发式修复点形貌设计研究 | 第42-48页 |
| 4.1 不同类型修复点三维数值模型建立 | 第42-43页 |
| 4.2 不同类型修复点对光传输产生的影响对比 | 第43-47页 |
| 4.2.1 修复点宏观尺寸对光传输的调制影响 | 第44-45页 |
| 4.2.2 修复点宏观形貌对光传输的调制影响 | 第45-47页 |
| 4.3 小结 | 第47-48页 |
| 第五章 探索修复点二次加工对光传输产生的影响 | 第48-55页 |
| 5.1 修复点二次加工数值模型 | 第48-49页 |
| 5.2 修复点二次加工对光传输的影响 | 第49-52页 |
| 5.2.1 修复点二次加工前后对光传输产生的影响对比 | 第49-51页 |
| 5.2.2 二次加工微观结构分布对光传输产生的影响 | 第51-52页 |
| 5.2.3 二次加工微观结构尺寸对光传输产生的影响 | 第52页 |
| 5.3 修复点二次加工对元件表面附近电磁场分布的影响 | 第52-54页 |
| 5.4 小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结 | 第55-58页 |
| 6.1 全文总结 | 第55-56页 |
| 6.2 研究展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 附录 | 第64-66页 |
| 附录A：攻读硕士期间发表论文情况 | 第64页 |
| 附录B：参加学术活动情况 | 第64页 |
| 附录C：在校期间获奖情况 | 第64-65页 |
| 附录D：Fresnel Diffraction Simulation软件 | 第65-66页 |
