| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-18页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·相关领域的研究现状和发展趋势 | 第10-16页 |
| ·流体运动过程的研究现状 | 第10-11页 |
| ·流体反应过程中热力学的研究现状 | 第11-13页 |
| ·关于流体运动过程中能量平衡的研究现状 | 第13-16页 |
| ·论文主要的内容及结构 | 第16-18页 |
| 2 LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的基本理论 | 第18-25页 |
| ·LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的装置及化学反应原理概述 | 第18-21页 |
| ·LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的装置 | 第18-19页 |
| ·制备过程的化学反应原理 | 第19-21页 |
| ·TiO_2纳米薄膜制备过程中流体的相关理论 | 第21-23页 |
| ·流体运输过程中的流体运动规律基础理论 | 第21-22页 |
| ·流体运输过程中热力学相关理论 | 第22-23页 |
| ·纳米薄膜的成膜过程 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 3 运载气体输运过程中的运动分析以及薄膜的沉积进度求解 | 第25-37页 |
| ·运载气体的运动方程的建立与求解 | 第25-30页 |
| ·运动方程的建立 | 第25-27页 |
| ·运动方程的求解 | 第27-30页 |
| ·薄膜的沉积进度求解 | 第30-35页 |
| ·气体输运特性 | 第30-32页 |
| ·前驱体浓度函数表达式的建立 | 第32-33页 |
| ·前驱体浓度函数表达式的求解 | 第33-35页 |
| ·薄膜沉积进度函数求解 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 LPCVD法制备纳米TiO_2薄膜的化学反应热力学模型与能耗评估 | 第37-48页 |
| ·建立TiO_2纳米薄膜LPCVD制备过程的热力学模型 | 第37-44页 |
| ·TiO_2薄膜制备中化学反应焓变模型的建立 | 第37-40页 |
| ·TiO_2薄膜制备的化学反应熵变模型 | 第40-43页 |
| ·TiO_2薄膜制备的化学反应有效能变模型 | 第43页 |
| ·化学反应生成热量速率的计算 | 第43-44页 |
| ·TiO_2薄膜制备过程中化学反应能量模型分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 5 基于能量平衡的能效分析 | 第48-56页 |
| ·能量平衡方程 | 第48-49页 |
| ·基于TiO_2纳米薄膜制备过程中能量平衡计算各部分能耗 | 第49-54页 |
| ·未参与反应的前驱体所吸收的能量计算 | 第50-52页 |
| ·前驱体反应所吸收的能量计算 | 第52-53页 |
| ·第二温区释放在空气中的能量及尾气带走的能量计算 | 第53-54页 |
| ·TiO_2纳米薄膜制备过程中能效分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 利用FLUENT软件模拟TiO_2纳米薄膜制备过程 | 第56-64页 |
| ·FLUENT软件介绍 | 第56页 |
| ·模拟过程与模拟结果 | 第56-61页 |
| ·几何模型的建立 | 第56-57页 |
| ·制备过程模拟 | 第57-59页 |
| ·模拟结果 | 第59-61页 |
| ·TiO_2薄膜制备过程中理论值的求解 | 第61-63页 |
| ·TiO_2薄膜制备过程中热力学值求解 | 第61-62页 |
| ·TiO_2薄膜制备过程中运动速率与沉积速率的求解 | 第62-63页 |
| ·模拟结果与理论结果的对比及分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
