| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·硬质薄膜的研究现状及分类 | 第11-14页 |
| ·普通硬质薄膜 | 第11-12页 |
| ·超硬薄膜 | 第12-14页 |
| ·硬质多层薄膜的结构设计与优化 | 第14-16页 |
| ·多层膜的结构 | 第14页 |
| ·多层膜结构的优化 | 第14-16页 |
| ·多弧离子镀技术 | 第16-17页 |
| ·多弧离子镀技术的原理 | 第16-17页 |
| ·多弧离子镀技术的特点 | 第17页 |
| ·多弧离子镀技术的应用 | 第17页 |
| ·Ti(C,N)和 TiAlCN 硬质薄膜的研究现状 | 第17-20页 |
| ·Ti(C,N)薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| ·TiAlCN 薄膜的研究现状 | 第19-20页 |
| ·本论文主要研究内容和选题的意义 | 第20-22页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本论文选题意义 | 第21-22页 |
| 第二章 实验设备及方法 | 第22-30页 |
| ·镀膜设备 | 第22页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-24页 |
| ·基体材料的选择与处理 | 第22-23页 |
| ·薄膜沉积 | 第23-24页 |
| ·薄膜的表征 | 第24-30页 |
| ·薄膜化学成分、物相及形貌分析 | 第24-27页 |
| ·薄膜性能分析 | 第27-30页 |
| 第三章 C_2H_2流量对CrN/TiN/Ti(C,N)多层膜的影响 | 第30-48页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜化学成分、物相及形貌分析 | 第30-39页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜化学成分分析 | 第30-32页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜物相及择优取向的分析 | 第32-34页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜化学态分析 | 第34-37页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜表面及截面形貌分析 | 第37-39页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜性能分析 | 第39-47页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜硬度及弹性模量分析 | 第39-42页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜结合强度分析 | 第42-44页 |
| ·CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜摩擦性能分析 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 C_2H_2流量对TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜结构和性能的影响 | 第48-58页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜化学成分、物相及形貌分析 | 第48-53页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜物相及择优取向的分析 | 第48-49页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜化学态分析 | 第49-52页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜表面及截面形貌分析 | 第52-53页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜性能分析 | 第53-57页 |
| ·A-C 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜硬度及弹性模量分析 | 第53-55页 |
| ·A-C 系列 CrN/TiN/Ti(C,N)薄膜结合力分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 AlTi 靶电流对TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 多层膜结构和性能的影响 | 第58-66页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜化学成分、物相及形貌分析 | 第58-61页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜物相及择优取向的分析 | 第58-59页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜化学态分析 | 第59-61页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜性能分析 | 第61-64页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜硬度分析 | 第61-62页 |
| ·A-I 系列 TiN/(Ti,Al)N/TiAlCN 薄膜结合力分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 在学研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
