| 中文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·概述 | 第9页 |
| ·随机表面的表征 | 第9-15页 |
| ·随机表面的主要测量方法 | 第15-18页 |
| ·接触式测量法 | 第15-18页 |
| ·非接触式测量法 | 第18页 |
| ·本文的主要内容 | 第18-21页 |
| 第二章 随机表面的光散射理论 | 第21-35页 |
| ·随机表面光散射的基尔霍夫理论 | 第23-24页 |
| ·自仿射分形随机表面的散射理论及统计参量的提取 | 第24-27页 |
| ·自仿射分形随机表面的表征 | 第24-25页 |
| ·自仿射分形随机表面的散射轮廓函数的近似计算 | 第25-27页 |
| ·丘状表面的光散射理论 | 第27-30页 |
| ·丘状表面及其特征 | 第27-28页 |
| ·丘状表面的光散射 | 第28-30页 |
| ·非高斯表面的散射 | 第30-33页 |
| ·高度差分布 P (z,r)和高度差函数 C (k ,r) | 第30-31页 |
| ·非高斯表面的散射结构函数 | 第31-32页 |
| ·中心亮点的强度 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 各向异性粗糙随机表面的 AFM 测量 | 第35-43页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·各向异性硅片的 AFM 形貌测量和参量提取 | 第35-39页 |
| ·单晶硅电池片的 AFM 形貌测量和参量提取 | 第39-42页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| 第四章 散射光强轮廓的波矢量空间变换研究 | 第43-53页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·各向异性随机表面光散射实验测量系统 | 第43-47页 |
| ·理论分析 | 第47-48页 |
| ·空间变换 | 第48-52页 |
| ·结论 | 第52-53页 |
| 第五章 总结及展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 攻读硕士期间发表的文章 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |