硅基微环谐振器中四波混频效应的理论与实验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-12页
·本课题研究的背景与意义	第8-9页
·本课题研究的现状	第9-10页
·本文主要研究内容	第10-12页
2 四波混频效应的理论分析	第12-30页
·光学非线性效应原理	第12-21页
·四波混频的理论分析	第21-27页
·其它非线性效应的影响	第27-28页
·本章小结	第28-30页
3 微环谐振器的理论与模拟	第30-55页
·微环谐振器的理论分析	第30-43页
·微环中四波混频的分析	第43-45页
·微环谐振器的模拟与结构优化	第45-53页
·本章小结	第53-55页
4 器件的制备、测试与分析	第55-78页
·硅基微环谐振器的工艺制备	第55-57页
·测试系统	第57-58页
·测试方法及步骤	第58-63页
·远程自动化测试	第63-71页
·测试结果与分析	第71-77页
·本章小结	第77-78页
5 混合集成器件中的四波混频	第78-88页
·混合集成	第78-80页
·器件模拟	第80-84页
·BCB 键合工艺研究	第84-86页
·键合结果	第86-87页
·本章小结	第87-88页
6 总结与展望	第88-90页
致谢	第90-91页
参考文献	第91-94页